六氟化钨有什么用途？

2023-09-04

六氟化钨是一种无色、有毒、有腐蚀性的气体，密度约为13克/升，约为空气密度的11倍，是密度最大的气体之一。在半导体工业中，六氟化钨主要用于化学气相沉积（CVD）工艺中沉积金属钨。沉积的钨膜可作为通孔和接触孔的互连线，具有低电阻、高熔点的特点。六氟化钨还用于化学蚀刻、等离子蚀刻等工艺。

密度最大的无毒气体是什么？

密度最大的无毒气体是氩气（Ar），密度为1.7845 g/L。氩气是惰性气体，无色无味，不易与其他物质发生反应。氩气主要应用于气体保护、金属焊接、金属切割、激光等领域。

钨和钛都是具有高熔点和强度的金属元素。钨的熔点为3422℃，强度为500MPa，而钛的熔点为1668℃，强度为434MPa。因此，钨比钛更强。

六氟化钨是一种剧毒气体，吸入会对人体造成严重损害。六氟化钨的LD50为5.6毫克/公斤，即每公斤体重吸入5.6毫克六氟化钨会导致50%的死亡率。六氟化钨会刺激呼吸道，引起咳嗽、胸闷、呼吸困难等症状。严重者可导致肺水肿、呼吸衰竭，甚至死亡。

钨不会生锈。钨是一种惰性金属，不易与空气中的氧气发生反应。因此，钨在常温下不会生锈。

酸可以腐蚀钨，但速度较慢。浓硫酸、浓盐酸等强酸可以腐蚀钨，但需要的时间较长。稀硫酸、稀盐酸等弱酸对钨有微弱的腐蚀作用。

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