硅烷是硅和氢的化合物，包括甲硅烷（SiH4）、乙硅烷（Si2H6）和一些高阶硅氢化合物。其中以甲硅烷最为常见，甲硅烷有时也简称为硅烷。硅烷是一种无色、与空气反应的窒息性气体。