可根据客户要求提供其他规格包装
磷烷混合气体
| 纯度或数量 | 载体 | 体积 |
| 99.999%/99.9999% | 圆柱 | 47升 |
磷烷混合气体
磷化氢是半导体器件制造中重要的n型掺杂源。它还用于多晶硅化学气相沉积、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺以及磷硅酸盐玻璃（PSG）钝化膜的制备。
应用领域
半导体
太阳能光伏
引领
机械制造
化工
医疗
食物
科学研究
