三氟化氮的化学式为NF₃。常温下为无色、无味、稳定的气体。它是一种强氧化剂。高纯度三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性，也是一种非常好的清洗剂。华中可为您提供高纯度三氟化氮气体，以改善您的半导体工艺。