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乙硼烷混合气体

混合

纯度或数量 载体 体积
99.999%/99.9999% 圆柱 47升

乙硼烷混合气体

乙硼烷和氢气的混合气体主要用作气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂​​剂。

应用领域

半导体
太阳能光伏
引领
机械制造
化工
医疗
食物
科学研究

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