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氩气

“氩气是气相色谱中最常见的载气之一。氩气在溅射、等离子体蚀刻和离子注入中用作载气,并在晶体生长中用作保护气体。

纯度或数量 载体 体积
99.999%/99.9999% 圆柱 40L或47L

氩气

最常见的氩气来源是空气分离设备。空气中含有约。 0.93%(体积)氩气。含有高达 5% 氧气的粗氩气流通过二级(“侧臂”)塔从初级空气分离塔中去除。然后将粗氩进一步纯化以生产所需的各种商业等级。氩气也可以从一些合成氨工厂的废气流中回收。

应用领域

半导体
太阳能光伏
引领
机械制造
化工
医疗
食物
科学研究

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