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氩气
“氩气是气相色谱中最常见的载气之一。氩气在溅射、等离子体蚀刻和离子注入中用作载气,并在晶体生长中用作保护气体。”
纯度或数量 | 载体 | 体积 |
99.99% | 圆柱 | 40升 |
氩气
最常见的氩气来源是空气分离设备。空气中含有约。 0.93%(体积)氩气。含有高达 5% 氧气的粗氩气流通过二级(“侧臂”)塔从初级空气分离塔中去除。然后将粗氩进一步纯化以生产所需的各种商业等级。氩气也可以从一些合成氨工厂的废气流中回收。
应用领域

半导体

太阳能光伏

引领

机械制造

化工

医疗

食物

科学研究