随着平板显示技术的发展，客户需要更多的特种气体以及相关的专业知识和经验。华中气体为平板显示客户提供多种特种气体材料，包括掺杂、薄膜沉积、蚀刻和腔室清洁工艺应用。
电子级硅烷气体主要用于显示面板行业TFT（薄膜晶体管）/LCD（液晶显示器）的生产，以及LCD用TFT或LTPS基板的沉积。
它与硅烷结合，形成非晶硅晶体管的氮化硅层。
LTPS和MOS晶体管的生产增加了一氧化二氮的使用量。从MO生产中的消耗和使用来看，N2O已经超过NF3成为MO生产中使用最多的电子材料。
NF3是a-Si和LTPS显示器生产中最常用的电子材料，主要用于清洁PECVD室。
