(1)硅化镁法：将硅、镁的混合粉末在氢气中于500℃左右反应，生成的硅化镁与氯化铵在低温液氨中反应，得到硅烷。在用液氮冷却的蒸馏装置中对其进行纯化，得到纯硅烷。
(2)多相反应法：将硅粉、四氯化硅和氢气在加热至500℃以上的流化床炉中反应，得到三氯氢硅。通过蒸馏分离三氯硅烷。二氯硅烷是在催化剂存在下通过非均相反应得到的。得到的二氯硅烷是四氯化硅和三氯硅烷的混合物，因此蒸馏后可以得到纯的二氯硅烷。使用非均相反应催化剂从二氯硅烷获得三氯硅烷和甲硅烷。得到的甲硅烷通过低温高压蒸馏装置进行纯化。
(3)用盐酸处理硅镁合金。
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4)硅镁合金在液氨中与溴化铵反应。
(5)以氢化铝锂、硼氢化锂等为还原剂，在乙醚中还原四氯硅烷或三氯硅烷。