六氟化鎢有什麼用途？

2023-09-04

六氟化鎢是一種無色、有毒、腐蝕性的氣體，密度約13克/公升，約為空氣密度的11倍，是密度最大的氣體之一。在半導體工業中，六氟化鎢主要用於化學氣相沉積（CVD）製程中沉積金屬鎢。沉積的鎢膜可作為通孔和接觸孔的互連線，具有低電阻、高熔點的特性。六氟化鎢也用於化學蝕刻、等離子蝕刻等製程。

密度最大的無毒氣體是什麼？

密度最大的無毒氣體是氬氣（Ar），密度為1.7845 g/L。氬氣是惰性氣體，無色無味，不易與其他物質反應。氬氣主要應用於氣體保護、金屬焊接、金屬切割、雷射等領域。

鎢和鈦都是具有高熔點和強度的金屬元素。鎢的熔點為3422℃，強度為500MPa，而鈦的熔點為1668℃，強度為434MPa。因此，鎢比鈦更強。

六氟化鎢是一種劇毒氣體，吸入會對人體造成嚴重損害。六氟化鎢的LD50為5.6毫克/公斤，即每公斤體重吸入5.6毫克六氟化鎢會導致50%的死亡率。六氟化鎢會刺激呼吸道，引起咳嗽、胸悶、呼吸困難等症狀。嚴重者可導致肺水腫、呼吸衰竭，甚至死亡。

鎢不會生鏽。鎢是一種惰性金屬，不易與空氣中的氧氣產生反應。因此，鎢在常溫下不會生鏽。

酸可以腐蝕鎢，但速度較慢。濃硫酸、濃鹽酸等強酸可以腐蝕鎢，但所需的時間較長。稀硫酸、稀鹽酸等弱酸對鎢有微弱的腐蝕作用。

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