矽烷是矽和氫的化合物，包括甲矽烷（SiH4）、乙矽烷（Si2H6）和一些高階矽氫化合物。其中以甲矽烷最為常見，甲矽烷有時也簡稱為矽烷。矽烷是一種無色、與空氣反應的窒息性氣體。