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矽烷
| 純度或數量 | 載體 | 體積 |
| 99.9999% | Y瓶/管束車 | 470L或8管/12管束 |
矽烷
矽烷是矽和氫的化合物，包括甲矽烷（SiH4）、乙矽烷（Si2H6）和一些高階矽氫化合物。其中以甲矽烷最為常見，甲矽烷有時也簡稱為矽烷。矽烷是一種無色、與空氣反應的窒息性氣體。
應用領域
半導體
太陽能光電
引領
機械製造
化工
醫療
食物
科學研究
