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磷烷混合氣體
| 純度或數量 | 載體 | 體積 |
| 99.999%/99.9999% | 圓柱 | 47公升 |
磷烷混合氣體
磷化氫是半導體裝置製造中重要的n型摻雜源。它也用於多晶矽化學氣相沉積、外延GaP材料、離子注入製程、MOCVD製程以及磷矽酸鹽玻璃（PSG）鈍化膜的製備。
應用領域
半導體
太陽能光電
引領
機械製造
化工
醫療
食物
科學研究
