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乙硼烷混合氣體
純度或數量 | 載體 | 體積 |
99.999%/99.9999% | 圓柱 | 47公升 |
乙硼烷混合氣體
乙硼烷和氫氣的混合氣體主要用作氣體雜質源、離子注入和硼摻雜氧化擴散的摻雜劑。
應用領域
半導體
太陽能光電
引領
機械製造
化工
醫療
食物
科學研究