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乙硼烷混合氣體

混合

純度或數量 載體 體積
99.999%/99.9999% 圓柱 47公升

乙硼烷混合氣體

乙硼烷和氫氣的混合氣體主要用作氣體雜質源、離子注入和硼摻雜氧化擴散的摻雜劑。

應用領域

半導體
太陽能光電
引領
機械製造
化工
醫療
食物
科學研究

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