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氬氣

「氬氣是氣相層析中最常見的載氣之一。氬氣在濺鍍、等離子體蝕刻和離子注入中用作載氣,並在晶體生長中用作保護氣體。

純度或數量 載體 體積
99.999%/99.9999% 圓柱 40L或47L

氬氣

最常見的氬氣來源是空氣分離設備。空氣中含有約。 0.93%(體積)氬氣。含有高達 5% 氧氣的粗氬氣流會透過二級(「側臂」)塔從初級空氣分離塔中去除。然後將粗氬進一步純化以生產所需的各種商業等級。氬氣也可以從一些合成氨工廠的廢氣流中回收。

應用領域

半導體
太陽能光電
引領
機械製造
化工
醫療
食物
科學研究

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