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氬氣
「氬氣是氣相層析中最常見的載氣之一。氬氣在濺射、等離子體蝕刻和離子注入中用作載氣,並在晶體生長中用作保護氣體。”
純度或數量 | 載體 | 體積 |
99.99% | 圓柱 | 40公升 |
氬氣
最常見的氬氣來源是空氣分離設備。空氣中含有約。 0.93%(體積)氬氣。含有高達 5% 氧氣的粗氬氣流會透過二級(「側臂」)塔從初級空氣分離塔中去除。然後將粗氬進一步純化以生產所需的各種商業等級。氬氣也可以從一些合成氨工廠的廢氣流中回收。
應用領域

半導體

太陽能光電

引領

機械製造

化工

醫療

食物

科學研究