面板產業

隨著平板顯示技術的發展，客戶需要更多的特殊氣體以及相關的專業知識和經驗。華中氣體為平板顯示客戶提供多種特殊氣體材料，包括摻雜、薄膜沉積、蝕刻和腔室清潔製程應用。

為您的產業推薦的產品

矽烷

電子級矽烷氣體主要用於顯示面板產業TFT（薄膜電晶體）/LCD（液晶顯示器）的生產，以及LCD用TFT或LTPS基板的沉積。

氨

它與矽烷結合，形成非晶矽電晶體的氮化矽層。

混合氣體

LTPS和MOS電晶體的生產增加了一氧化二氮的使用量。從MO生產中的消耗和使用來看，N2O已經超過NF3成為MO生產中使用最多的電子材料。

三氟化氮

NF3是a-Si和LTPS顯示器生產最常用的電子材料，主要用於清潔PECVD室。