(1)矽化鎂法：將矽化、鎂的混合粉末在氫氣中於500℃左右反應，生成的矽化鎂與氯化銨在低溫液氨中反應，得到矽烷。在用液態氮冷卻的蒸餾裝置中純化，得到純矽烷。
(2)多相反應法：將矽粉、四氯化矽和氫氣在加熱至500℃以上的流體化床爐中反應，得到三氯氫矽。透過蒸餾分離三氯矽烷。二氯矽烷是在催化劑存在下透過非均相反應得到的。所得的二氯矽烷是四氯化矽和三氯矽烷的混合物，因此蒸餾後可以得到純的二氯矽烷。使用非均相反應催化劑從二氯矽烷獲得三氯矽烷和甲矽烷。所得的甲矽烷經由低溫高壓蒸餾裝置純化。
(3)用鹽酸處理矽鎂合金。
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4)矽鎂合金在液態氨中與溴化銨反應。
(5)以氫化鋁鋰、硼氫化鋰等為還原劑，在乙醚中還原四氯矽烷或三氯矽烷。