Panel ile ise

Pẹlu awọn idagbasoke ti alapin nronu àpapọ ọna ẹrọ, awọn onibara nilo diẹ pataki gaasi ati ki o jẹmọ ọjọgbọn imo ati iriri. Gas Huazhong n pese awọn alabara ifihan alapin pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo gaasi pataki, pẹlu doping, ifisilẹ fiimu, etching ati awọn ilana mimọ iyẹwu Awọn ohun elo.

Awọn ọja ti a ṣe iṣeduro fun ile-iṣẹ rẹ

Silane

Gaasi silane ite itanna jẹ lilo akọkọ ni iṣelọpọ ti TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Ifihan Liquid Crystal) ninu ile-iṣẹ nronu ifihan, ati ifisilẹ ti TFT tabi awọn sobusitireti LTPS fun LCDs.

Amonia

Ni idapọ pẹlu silane, o ṣe apẹrẹ silikoni nitride Layer ti a-Si transistors.

Ipara gas

Ṣiṣejade ti LTPS ati MOS transistors ti pọ si lilo ohun elo afẹfẹ nitrous. Lati irisi agbara ati lilo ninu iṣelọpọ MO, N2O ti kọja NF3 lati di ohun elo itanna ti a lo julọ ni iṣelọpọ MO.

nitrogen trifluoride

NF3 jẹ ohun elo itanna ti o wọpọ julọ ti a lo ni a-Si ati iṣelọpọ ifihan LTPS ati pe a lo ni pataki fun mimọ awọn iyẹwu PECVD.