Huazhong Gas האָבן דעדאַקייטאַד זיך צו מאַסטערינג די קונסט און וויסנשאַפֿט פון ינדאַסטרי און ספּעציאַליטעט גאַז פּראָדוקציע. אין הייַנט ס הויך-טעק וועלט, ספּעציעל אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, די פאָדערונג פֿאַר הינטער-הויך ריינקייַט גאַסאַז איז ניט נאָר אַ ייבערהאַנט; עס איז אַן אַבסאָלוט נייטיקייַט. דער אַרטיקל דעלוווז אין די קריטיש וועלט פון טומאה אַנאַליסיס פֿאַר עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז. מיר וועלן ויספאָרשן וואָס אפילו די טיניאַסט טומאה קענען האָבן קאָלאָסאַל קאַנסאַקווענסאַז, ווי מיר דעטעקט די ילוסיוו שפּור ימפּיוראַטיז, און וואָס עס מיטל פֿאַר געשעפטן. פארשטאנד גאַז ימפּיוראַטיז און די מעטהאָדס פֿאַר זייער רייניקונג און דיטעקשאַן, אַזאַ ווי ICP-MS, איז שליסל צו ינשורינג די רילייאַבילאַטי און פאָרשטעלונג פון מאָדערן עלעקטראָניק. דער שטיק איז ווערט דיין צייט ווייַל עס אָפפערס אַ פּערספּעקטיוו פון אַ פאַבריק-ינסיידער צו האַלטן די סטרינדזשאַנט ריינקייַט פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, א װינקלשטײ ן פו ן דע ר סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק סעקטאָרס.

וואָס פּונקט זענען עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז און וואָס איז זייער ריינקייַט אַזוי וויטאַל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג?

עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, אָפט ריפערד צו ווי עלעקטראָניש גאַסאַז אָדער סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז, זענען אַ יינציק קאַטעגאָריע פון הויך-ריינקייַט גאַסאַז און גאַז מיקסטשערז ספּאַסיפיקלי ענדזשאַנירד פֿאַר די ינטראַקאַט פּראַסעסאַז ינוואַלווד אין מאַנופאַקטורינג עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ. טראַכטן פון זיי ווי די ומזעיק אַרקאַטעקץ פון די דיגיטאַל עלטער. די גאַסאַז געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע כולל אַ פאַרשיידנקייַט פון קייט, אַזאַ ווי סילאַן (SiH₄) פֿאַר דיפּאַזאַץ פון סיליציום לייַערס, ניטראָגען טריפלאָרידע (NF₃) פֿאַר קאַמער רייניקונג, אַרגאָן (אר) כְּגַוְונָא דְשַׁלְיָין, וּלְחָדָן דאָפּינג גאַסאַז ווי פאָספינע (PH₃) אָדער אַרסינע (אַש₃) צו טוישן די עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס. דער טערמין "עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט" זיך כיילייץ זייער טיילערד אַפּלאַקיישאַן און די עקסטרעם פּינטלעכקייַט פארלאנגט אין זייער זאַץ. די ביסט נישט דיין וואָכעדיק אינדוסטריעלע גאַסאַז; זייער ספּעסאַפאַקיישאַנז זענען פיל מער סטרינדזשאַנט.

די העכסט וויכטיקייט פון זייער ריינקייַט קענען ניט זיין אָוווערסטייטיד, ספּעציעל אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוצירן. מאָדערן ינאַגרייטיד סערקאַץ (ICs) האָבן טראַנזיסטערז און קאַנדאַקטיוו פּאַטווייז וואָס זענען ינקרעדאַבלי קליין, אָפט געמאסטן אין נאַנאָמעטערס (ביליאָנטהס פון אַ מעטער). אין דעם מיקראָסקאָפּיק וואָג, אַפֿילו אַ איין אַנוואָנטיד אַטאָם - אַן טומאה- קענען שפּילן ווי אַ באָולדער אין אַ קליינטשיק טייַך, דיסראַפּטינג די בדעה עלעקטריקאַל לויפן אָדער פאַרשאַפן סטראַקטשעראַל חסרונות. דאָס קען פירן צו אַ פאָלטי שפּאָן, און אין אַ אינדוסטריע ווו מיליאַנז פון טשיפּס זענען געשאפן אויף אַ איין ווייפער, די פינאַנציעל און רעפּיאַטיישאַנאַל שעדיקן פון וויידספּרעד קאַנטאַמאַניישאַן קענען זיין גרויס. דעריבער, די ריינקייַט פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז איז אַ פונדאַמענטאַל זייַל אויף וואָס די גאנצע עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע שטייט. קיין טומאה קענען קאָמפּראָמיס מיטל פאָרשטעלונג, טראָגן, און רילייאַבילאַטי, מאכן שטרענג גאַז ריינקייַט קאָנטראָל יקערדיק.

אין Huazhong Gas, מיר פֿאַרשטיין אַז אונדזער קאַסטאַמערז אין די סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז פאַרלאָזנ אויף אונדז צו צושטעלן גאַסאַז וואָס טרעפן אָדער יקסיד "פינף ניינס" (99.999%) אָדער אפילו "זעקס ניינס" (99.9999%) ריינקייַט לעוועלס. דעם מיטל אַז קיין טומאה מוזן זיין פאָרשטעלן אין קאַנסאַנטריישאַנז נידעריקער ווי פּאַרץ פּער מיליאָן (פּפּם) אָדער אפילו פּאַרץ פּער ביליאָן (פּפּב). דערגרייכן און וועראַפייינג אַזאַ הויך ריינקייַט לעוועלס ריקווייערז סאַפיסטאַקייטיד רייניקונג טעקניקס און, קריטיש, אַוואַנסירטע טומאה אַנאַליסיס מעטהאָדס. די בייַזייַן פון אַ אומגעריכט טומאה קען אויך אָנווייַזן ישוז מיט די גאַז סילינדערס אָדער די צושטעלן קייט, מאכן קאָנסיסטענט קוואַליטעט טשעקס וויטאַל. מיר פאַרזיכערן אונדזער ניטראָגען צילינדער אָפרינגז, פֿאַר בייַשפּיל, טרעפן די פּינטלעך סטאַנדאַרדס, ווייַל ניטראָגען איז אַ ווערקכאָרס גאַז אין פילע סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן סטעפּס.

ווי קענען אפילו מיקראָסקאָפּיק שפּור ימפּיוראַטיז דירייל סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע לינעס?

ע ס אי ז אמא ל שװע ר זי ך פארשטעל ן װ י עפע ס אזו י קלײנ , א שפּור טומאה געמאסטן אין פּאַרץ פּער ביליאָן (פּפּב) אָדער אפילו פּאַרץ פּער טריליאַן (פּפּט), קענען אָנמאַכן אַזאַ באַטייַטיק פּראָבלעמס. אבער אין דער וועלט פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, די מיקראָסקאָפּיק קאַנטאַמאַנאַנץ זענען הויפּט ווילאַנז. לאָמיר באַטראַכטן אַ טיפּיש סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן פּראָצעס: עס ינוואַלווז דאַזאַנז, מאל הונדערטער, פון יידל סטעפּס ווי דעפּאַזישאַן (ארויפלייגן דין פילמס), עטשינג (באַזייַטיקונג מאַטעריאַל), און יאָן ימפּלאַנטיישאַן (ינסערטינג ספּעציפיש אַטאָמס). יעדער שריט רילייז אויף אַ גענוי קאַנטראָולד כעמישער סוויווע, אָפט באשאפן אָדער מיינטיינד דורך עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז. אויב א גאַז געניצט אין איינער פון די טריט קאַריז אַ אַנוואָנטיד טומאה, אַז טומאה קענען זיין ינקאָרפּערייטיד אין די יידל לייַערס פון די סעמיקאַנדאַקטער מיטל.

למשל, מעטאַלליק ימפּיוראַטיז ווי סאָדיום, אייַזן אָדער קופּער, אפילו אין הינטער-נידעריק קאַנסאַנטריישאַנז, קענען דראַסטיקלי טוישן די עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס פון סיליציום. זיי קען מאַכן אַנוואָנטיד קאַנדאַקטיוו פּאַטס, וואָס פירן צו קורץ סערקאַץ, אָדער אַקט ווי "טראַפּס" וואָס ימפּיד די לויפן פון עלעקטראָנס, סלאָוינג די מיטל אָדער פאַרשאַפן עס גאָר פאַרלאָזן. אַן טומאה קענען אויך אַרייַנמישנ זיך מיט די כעמיש ריאַקשאַנז בדעה אין אַ פּראָצעס שריט. פֿאַר בייַשפּיל, אַ קאַנטאַמאַנאַנט אין אַן עטשינג גאַז קען פאַרשאַפן אונטער-עטטשינג אָדער איבער-עטטשינג, רוינינג די גענוי פּאַטערנז אויף די ווייפער. די פּראַל איז ניט בלויז אויף יחיד טשיפּס; אַן אַנדיטעקטיד טומאה דער אַרויסגעבן קען פירן צו סקראַפּט גאַנץ באַטשאַז פון ווייפערז, ריזאַלטינג אין מיליאַנז פון דאָללאַרס אין לאָססעס, פּראָדוקציע דילייז און כעדייקס פֿאַר ייַנשאַפונג אָפיציר ווי מארק שען, וואָס דאַרפֿן צו ענשור אַ סטאַביל צושטעלן פון קוואַליטעט מאַטעריאַלס. דאָס כיילייץ די קריטיש נויט פֿאַר געזונט מעזשערמאַנט פון שפּור ימפּיוראַטיז.

די אַרויסרופן איז אַז די "אַקסעפּטאַבאַל" מדרגה פֿאַר קיין טומאה האלט שרינגקינג ווי סעמיקאַנדאַקטער מיטל פֿעיִקייטן ווערן קלענערער. וואָס איז געהאלטן אַ פּאַסיק טומאה מדרגה מיט אַ יאָרצענדלינג צוריק קען זיין אַ קאַטאַסטראָפיק קאַנטאַמאַניישאַן היינט. דעם רילענטליס פאָר פֿאַר מיניאַטוריזאַטיאָן לייגט ריזיק דרוק אויף גאַז מאַניאַפאַקטשערערז און אַנאַליסיס לאַבאָראַטאָריעס צו פֿאַרבעסערן דיטעקשאַן שיעור קייפּאַבילאַטיז. אפילו פּאַרטיקיאַלער ימפּיוראַטיז, קליינטשיק שטויב ספּעקס ומזעיק צו די נאַקעט אויג, קענען פאַרשפּאַרן ליכט אין פאָטאָליטאָגראַפי סטעפּס אָדער מאַכן גשמיות חסרונות אויף די ווייפער ייבערפלאַך. דעריבער, קאַנטראָולינג יעדער פּאָטענציעל טומאה - צי גאַז, מעטאַל אָדער פּאַרטיקיאַלער - איז קריטיש. די קייט פון ימפּיוראַטיז וואָס קענען גרונט ישוז איז וואַסט, עמפאַסייזינג די נויט פֿאַר פולשטענדיק גאַז אַנאַליסיס.

וואָס זענען די מערסט פּראָסט טראָובלעמאַקערס? ידענטיפיצירן ימפּיוראַטיז אין גאַסאַז פֿאַר עלעקטראָניק.

ווען מיר רעדן וועגן ימפּיוראַטיז אין גאַסאַז בדעה פֿאַר די עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער סעקטאָר, מיר קוקן אין אַ פאַרשיידנקייַט פון אותיות, יעדער מיט די פּאָטענציעל צו פאַרשאַפן באַטייטיק שאָדן. די ימפּיוראַטיז צו זיין דיטעקטאַד קענען בראָדלי זיין קאַטאַגערייזד אין גאַז, מעטאַלליק און פּאַרטיקיאַלער פארמען. פארשטאנד פון די פּראָסט טראַבאַלמייקערז איז דער ערשטער שריט אין עפעקטיוו טומאה אַנאַליסיס און קאָנטראָל. די ספּעציפיש ימפּיוראַטיז פאָרשטעלן קענען בייַטן דיפּענדינג אויף די גאַז זיך, זייַן פּראָדוקציע אופֿן, סטאָרידזש און האַנדלינג.

גאַסאַז ימפּיוראַטיז זענען אנדערע גאַסאַז פאָרשטעלן אין די הויפּט ספּעציאַליטעט גאַז. פֿאַר בייַשפּיל, אין הויך ריינקייַט ניטראָגען, פּראָסט גאַז ימפּיוראַטיז קען אַרייַננעמען זויערשטאָף (O₂), נעץ (H₂O), טשאַד דייאַקסייד (CO₂), טשאַד מאַנאַקסייד (CO) און כיידראָוקאַרבאַנז (CHₓ). זויערשטאָף און נעץ זענען דער הויפּט פּראָבלעמאַטיק ווייַל זיי זענען העכסט ריאַקטיוו און קענען פירן צו אַנוואָנטיד אַקסאַדיישאַן פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אָדער פּראָצעס ויסריכט. אפילו אין אַ ינערט גאַז ווי אַרגאָן, די קענען זיין פאָרשטעלן אין שפּור לעוועלס. ווי אַ פירמע, מיר אָפט זען ריקוועס פֿאַר אַנאַליסיס פון אַ ברייט קייט פון ימפּיוראַטיז, אַרייַנגערעכנט די ריאַקטיוו מינים. פֿאַר בייַשפּיל, אונדזער קייפּאַבילאַטיז אַרייַננעמען פּראַדוסינג קאָמפּלעקס גאַזמיקסטשער פּראָדוקטן, ווו קאַנטראָולינג יעדער קאָמפּאָנענט, אַרייַנגערעכנט פּאָטענציעל גאַז ימפּיוראַטיז, איז העכסט.

מעטאַלליק ימפּיוראַטיז זענען אן אנדער הויפּט דייַגע. דאס זענען אַטאָמס פון מעטאַלס ​​ווי סאָדיום (נאַ), פּאַטאַסיאַם (ק), קאַלסיום (קאַ), אייַזן (פע), קופּער (קו), ניקאַל (ני), קראָומיאַם (קר), און אַלומינום (על). זיי קענען זיין פֿון רוי מאַטעריאַלס, פּראָדוקציע ויסריכט (ווי פּייפּליינז און רעאַקטאָרס), אָדער אפילו די גאַז סילינדערס זיך אויב נישט רעכט באהאנדלט. ווי דערמאנט, די מעטאַל ימפּיוראַטיז קענען סאַווירלי פּראַל די עלעקטריקאַל פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער מכשירים. דיטעקטינג די ביי פּפּב אָדער פּפּט לעוועלס ריקווייערז העכסט שפּירעוודיק אַנאַליסיס טעקניקס ווי ינדוקטיוועלי קאָופּלעד פּלאַזמאַ מאַסע ספּעקטראָמעטרי (ICP-MS). מיר אויך דאַרפֿן צו באַטראַכטן פּאַרטיקיאַלער ענין. דאס זענען קליינטשיק האַרט אָדער פליסיק פּאַרטיקאַלז סוספּענדעד אין די גאַז לויפן. זיי קענען אָנמאַכן גשמיות חסרונות אויף ווייפערז, פאַרשפּאַרן נאַזאַלז אין ויסריכט אָדער באַקענען אנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ. פילטריישאַן איז שליסל צו רימוווינג פּאַרטיקאַלז, אָבער מאָניטאָרינג זייער לעוועלס איז אויך טייל פון אַ פולשטענדיק גאַז קוואַליטעט פּראָגראַם. עטלעכע עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז זענען אויך קעראָוסיוו גאַסאַז אָדער טאַקסיק גאַסאַז, וואָס מוסיף אן אנדער שיכטע פון ​​קאַמפּלעקסיטי צו זייער האַנדלינג און אַנאַליסיס, ינשורינג אַז די טומאה פּראָפיל טוט נישט פאַרשטאַרקן די כאַזערדז.

ICP-MS: די גאָלד סטאַנדאַרד פֿאַר דיטעקטינג מעטאַלליק ימפּיוראַטיז אין סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז?

ווען עס קומט צו די יו אַנאַליסיס פון מעטאַלליק ימפּיוראַטיז אין הינטער-הויך ריינקייַט גאַסאַז, ינדוקטיוועלי קאַפּאַלד פּלאַזמע מאַסע ספּעקטראָמעטרי, אָדער ICP-MS, איז וויידלי גערעכנט ווי אַ לידינג טעכנאָלאָגיע. עס איז אַ שטאַרק אַנאַליסיס טעכניק וואָס קענען דעטעקט און קוואַנטיפיצירן אַ ברייט קייט פון עלעמענטאַל ימפּיוראַטיז, אָפט אַראָפּ צו אַסטאַנישינגלי נידעריק לעוועלס - טראַכטן פּאַרץ-פּער-טריליאַן (פּפּט) אָדער אפילו פּאַרץ-פּער-קוודריליאַן (פּפּק) פֿאַר עטלעכע עלעמענטן. דעם סענסיטיוויטי איז פּונקט וואָס ICP-MS איז געווארן אַזוי קריטיש פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, ווו, ווי מיר האָבן דיסקאַסט, אפילו מינוט טראַסעס פון מעטאַלליק ימפּיוראַטיז קענען זיין דעטראַמענאַל צו פּראָדוקט קוואַליטעט.

ווי אַזוי ICP-MS אַרבעט זייַן מאַגיש? אין פּשוט ווערטער, די מוסטער גאַז (אָדער אַ לייזונג דערייווד פון די גאַז) איז באַקענענ אין אַ זייער הייס פּלאַזמע, טיפּיקלי געמאכט פון אַרגאָן. דעם פּלאַזמע, וואָס דערגרייכן טעמפּעראַטורעס פון 6,000 צו 10,000 ° C, איז ענערגעטיק גענוג צו ברעכן אַראָפּ די גאַז מאַלאַקיולז און ייאַנייז די אַטאָמס וואָס זענען פאָרשטעלן, אַרייַנגערעכנט קיין מעטאַלליק ימפּיוראַטיז. די ייאַנז זענען דעמאָלט יקסטראַקטיד פון די פּלאַזמע און גיידיד אין אַ מאַסע ספּעקטראָמעטער. דער מאסן-ספּעקטראמעטער ארבעט ווי א זייער גענוי פֿילטער, צעשיידט די ייאַנז באזירט אויף זייער מאַסע-צו-אָפּצאָל פאַרהעלטעניש. א דעטעקטאָר דערנאָך ציילן די ייאַנז פֿאַר יעדער ספּעציפיש מאַסע, אַלאַוינג אונדז צו ידענטיפיצירן וואָס עלעמענטן זענען פאָרשטעלן און אין וואָס קוואַנטיטי. די פיייקייַט פון ICP-MS צו יבערקוקן פֿאַר אַ ברייט ספּעקטרום פון מעטאַלליק ימפּיוראַטיז אין ספּעציאַליטעט גאַסאַז סיימאַלטייניאַסלי מאכט עס העכסט עפעקטיוו.

בשעת ICP-MS איז ינקרעדאַבלי שטאַרק, עס איז נישט אָן זיין טשאַלאַנדזשיז, ספּעציעל ווען איר האַנדלען מיט גאַסאַז געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן. איין פּראָסט צוגאַנג איז צו כאַפּן די ימפּיוראַטיז פון אַ גרויס באַנד פון גאַז אַנטו אַ זאַמלונג מיטל אָדער אין אַ פליסיק, וואָס איז דעמאָלט אַנאַלייזד דורך ICP-MS. אָבער, דירעקט גאַז דירעקט ינדזשעקשאַן אין די ICP-MS סיסטעם איז אויך שיין מער געוויינטלעך פֿאַר זיכער אַפּלאַקיישאַנז, כאָטש עס ריקווייערז ספּעשאַלייזד ינטערפייסיז. די ברירה פון אופֿן דעפּענדס אויף די ספּעציפיש גאַז ימפּיוראַטיז פון אינטערעס, די מאַטריץ גאַז, און די פארלאנגט דיטעקשאַן שיעור. אין Huazhong Gas, מיר ינוועסטירן שווער אין מאָדערן אַנאַליסיס ויסריכט, אַרייַנגערעכנט ICP-MS קייפּאַבילאַטיז, ווייַל מיר וויסן אַז פּראַוויידינג פאַרלאָזלעך טומאה אַנאַליסיס דאַטן זענען פונדאַמענטאַל צו דעם צוטרוי אונדזער קאַסטאַמערז שטעלן אין אונדזער הויך ריינקייַט עלעקטראָניש גאַסאַז. די פּינטלעכקייַט פון ICP-MS העלפּס צו ענשור אַז די ריינקייַט פון גאַסאַז מיץ די שטרענג פאדערונגען פֿאַר עלעקטראָניש מיינונג מאַטעריאַלס.

פארוואס איז אַנווייווערינג גאַז ריינקייַט אַ ניט-פאַרקויפלעך פֿאַר די עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז?

די נויט פֿאַר אַנווייווערינג גאַז ריינקייַט אין די עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז איז ניט נאָר אַ ייבערהאַנט; דאָס איז אַ פונדאַמענטאַל פאָדערונג געטריבן דורך די פיזיק און עקאָנאָמיק פון מאָדערן מיטל מאַנופאַקטורינג. ווי סעמיקאַנדאַקטער מיטל פֿעיִקייטן ייַנשרומפּן צו די נאַנאָמעטער וואָג, זייער סענסיטיוויטי צו קיין פאָרעם פון קאַנטאַמאַניישאַן סקייראַקאַץ. אַן טומאה וואָס קען האָבן געווען נעגלאַדזשאַבאַל אין עלטערע, גרעסערע דעוויסעס קענען איצט פאַרשאַפן קאַטאַסטראָפיק פייליערז אין קאַטינג-ברעג טשיפּס. דאָס גלייך ימפּאַקץ טראָגן - דער פּראָצענט פון גוט טשיפּס פּער ווייפער - און אפילו אַ קליין קאַפּ אין טראָגן קענען איבערזעצן צו מיליאַנז פון דאָללאַרס אין פאַרפאַלן רעוועך פֿאַר אַ סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקאַנט.

טראַכטן וועגן די קאָמפּלעקס אַרקאַטעקטשער פון אַ מאָדערן מייקראָופּראַסעסער אָדער זכּרון שפּאָן. עס כּולל ביליאַנז פון טראַנזיסטערז, יעדער אַ ווונדער פון מיניאַטורע ינזשעניעריע. די פאָרשטעלונג פון די טראַנזיסטערז דעפּענדס אויף די גענוי עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס געניצט, וואָס זענען, אין קער, העכסט סאַסעפּטאַבאַל צו ימפּיוראַטיז. פֿאַר בייַשפּיל, זיכער מעטאַלליק ימפּיוראַטיז קענען באַקענען אַנוואָנטיד ענערגיע לעוועלס אין די סיליציום באַנד ריס, וואָס פירן צו אַ געוואקסן ליקאַדזש קראַנט אָדער רידוסט טרעגער מאָביליטי. דעם מיטל סלאָוער, ווייניקער עפעקטיוו אָדער גאָר ניט-פאַנגקשאַנאַל דעוויסעס. גאַסאַז ימפּיוראַטיז ווי זויערשטאָף אָדער נעץ קענען פירן צו די פאָרמירונג פון אַנינטענדיד אַקסייד לייַערס, אָלטערינג פילם טהיקנעססעס אָדער צובינד פּראָפּערטיעס קריטיש פֿאַר מיטל אָפּעראַציע. די קוילעלדיק גאַז קוואַליטעט גלייַך טראַנזלייץ ​​צו פּראָדוקט קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי.

דערצו, די עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז זענען קעראַקטערייזד דורך העכסט קאָמפּליצירט און טייַער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. אַ איין סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן פאַבריק ("פאַב") קענען קאָסטן ביליאַנז פון דאָללאַרס צו בויען און יקוויפּ. די גאַסאַז געניצט זענען ינטאַגראַל צו פילע פון ​​די טייַער פּראָצעס סטעפּס. אויב א ספּעציאַליטעט גאַז איז קאַנטאַמאַנייטאַד מיט אַן טומאה, עס טוט נישט נאָר ווירקן די ווייפערז דערווייַל פּראַסעסט; עס קען אויך קאַנטאַמאַנייט די טייַער פּראַסעסינג עקוויפּמענט זיך. דאָס קען פירן צו עקסטענדעד דאַונטיים פֿאַר רייניקונג און רעקוואַלאַפאַקיישאַן, נאָך אַדינג קאָס און דיסראַפּטינג פּראָדוקציע סקעדזשולז - אַ הויפּט ווייטיק פונט פֿאַר עמעצער ווי Mark Shen, וואָס רילייז אויף בייַצייַטיק עקספּרעס צו טרעפן זיין קאַסטאַמערז 'פאדערונגען. דעריבער, ינשורינג די ריינקייַט פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז דורך שטרענג טומאה אַנאַליסיס איז אַ קריטיש ריזיקירן מיטיגיישאַן סטראַטעגיע פֿאַר די גאנצע צושטעלן קייט. די פאָקוס אויף הויך ריינקייַט גאַסאַז איז רילענטליס ווייַל די סטייקס זענען ינקרעדאַבלי הויך.

וואָס שליסל טשאַלאַנדזשיז האָבן מיר אין דער אַנאַליסיס פון מעטאַלליק ימפּיוראַטיז אין ספּעציעלע גאַסאַז?

אַנאַלייזינג מעטאַלליק ימפּיוראַטיז אין ספּעציעל גאַסאַז, ספּעציעל די געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, גיט אַ יינציק גאַנג פון טשאַלאַנדזשיז. די ערשטיק שוועריקייט סטעמס פון די גאָר נידעריק קאַנסאַנטריישאַנז אין וואָס די ימפּיוראַטיז קענען זיין פּראָבלעמאַטיק - אָפט אין די קייט פון פּאַרץ-פּער-ביליאָן (פּפּב) אָדער אפילו פּאַרץ-פּער-טריליאַן (פּפּט). דיטעקטינג און אַקיעראַטלי קוואַנטאַפייינג אַזאַ מינוט אַמאַונץ ריקווייערז ניט בלויז העכסט שפּירעוודיק אַנאַליסיס ינסטראַמאַנץ ווי ICP-MS אָבער אויך ויסערגעוויינלעך ריין אַנאַליטיש ינווייראַנמאַנץ און מאַטיקיאַלאַס מוסטער האַנדלינג פּראָטאָקאָלס צו ויסמיידן ינטראָודוסינג פונדרויסנדיק קאַנטאַמאַניישאַן.

איין וויכטיק אַרויסרופן איז מוסטער הקדמה. פילע ספּעציאַליטעט גאַסאַז געניצט אין עלעקטראָניק זענען העכסט ריאַקטיוו, קעראָוסיוו אָדער אפילו פּיראָפאָריק (אָנצינדן ספּאַנטייניאַסלי אין לופט). בעשאָלעם און יפעקטיוולי טראַנספערינג די גאַסאַז אין אַן אַנאַליטיש ינסטרומענט ווי אַן ICP-MS אָן אָלטערינג די מוסטער גאַז אָדער קאַנטאַמאַנייטינג די קיילע ריקווייערז ספּעשאַלייזד ינטערפייסיז און האַנדלינג פּראָוסידזשערז. פֿאַר בייַשפּיל, גלייַך ינדזשעקטינג אַ קעראָוסיוו גאַז ווי הידראָגען קלאָרייד (הקל) אין אַ נאָרמאַל ICP-MS סיסטעם קען סאַווירלי שעדיקן עס. דעריבער, ומדירעקט מעטהאָדס, אַזאַ ווי ימפּינגער טראַפּינג (באַבאַלינג די גאַז דורך אַ פליסיק צו כאַפּן ימפּיוראַטיז) אָדער קריאָגעניק טראַפּינג, זענען אָפט געניצט. אָבער, די מעטהאָדס קענען פאָרשטעלן זייער אייגן פּאָטענציעל קוואלן פון קאַנטאַמאַניישאַן אָדער אַנאַליט אָנווער אויב ניט דורכגעקאָכט בישליימעס. די ברירה פון טרעגער גאַז פֿאַר דיילושאַן, אויב דארף, מוזן אויך זיין פון ימפּעקקאַבלע ריינקייַט.

אן אנדער אַרויסרופן איז די "מאַטריץ ווירקונג." דער פאַרנעם גאַז זיך (למשל, אַרגאָן, ניטראָגען, הידראָגען) קענען אַרייַנמישנ זיך מיט די דיטעקשאַן פון שפּור ימפּיוראַטיז. פֿאַר בייַשפּיל, אין ICP-MS, די פּלאַזמע געשאפן פון די פאַרנעם גאַז קענען מאַכן פּאָליאַטאָמיק ייאַנז וואָס האָבן די זעלבע מאַסע-צו-באַשולדיקונג פאַרהעלטעניש ווי עטלעכע ציל מעטאַלליק ימפּיוראַטיז, לידינג צו פאַלש פּאַזאַטיווז אָדער ומפּינקטלעך קוואַנטאַפאַקיישאַן. אַנאַליסץ מוזן נוצן טעקניקס ווי צונויפשטויס / אָפּרוף סעלז אין די ICP-MS אָדער הויך-האַכלאָטע מאַסע ספּעקטראָמעטרי צו באַקומען די ספּעקטראַל ינטערפערענסעס. דערצו, די קאַלאַבריישאַן סטאַנדאַרדס געניצט פֿאַר קוואַנטאַפייינג מעטאַל ימפּיוראַטיז מוזן זיין גאָר פּינטלעך און טרייסאַבאַל, און די גאנצע אַנאַליסיס פּראָצעס מוזן זיין וואַלאַדייטאַד צו ענשור די רילייאַבילאַטי פון די טומאה אַנאַליסיס רעזולטאַטן. מיר, ווי אַ סאַפּלייער, אויך זאָרג וועגן די אָרנטלעכקייַט פון גאַז סילינדערס און זייער פּאָטענציעל צו ביישטייערן מעטאַלליק ימפּיוראַטיז איבער צייַט, וואָס נעסעססיטאַטעס אָנגאָינג קוואַליטעט קאָנטראָל.

קענען ניצן אַ גאַז עקסטשאַנגע מיטל פֿאַרבעסערן די אַקיעראַסי פון די מעזשערמאַנט פון שפּור ימפּיוראַטיז?

יא, ניצן אַ גאַז וועקסל מיטל קענען טאַקע שפּילן אַ באַטייטיק ראָלע אין ענכאַנסינג די אַקיעראַסי פון מעזשערמאַנט פון שפּור ימפּיוראַטיז, ספּעציעל ווען דילינג מיט טשאַלאַנדזשינג גאַז מאַטריץ אָדער ווען יימינג פֿאַר הינטער-נידעריק דיטעקשאַן לימאַץ. א גאַז וועקסל מיטל, מאל ריפערד צו ווי אַ מאַטריץ ילימאַניישאַן סיסטעם, יסענשאַלי אַרבעט דורך סאַלעקטיוולי רימוווינג די פאַרנעם גאַז (די הויפּט קאָמפּאָנענט פון די מוסטער גאַז) בשעת קאַנסאַנטרייטינג די שפּור ימפּיוראַטיז פון אינטערעס. דעם פאַר-קאַנסאַנטריישאַן שריט קענען דראַמאַטיקלי פֿאַרבעסערן די סענסיטיוויטי פון סאַבסאַקוואַנט אַנאַליטיקאַל טעקניקס ווי ICP-MS אָדער גאַז קראָומאַטאַגראַף סיסטעמען.

דער פּרינציפּ הינטער פילע גאַז וועקסל דעוויסעס ינוואַלווז אַ האַלב-פּערמיאַבאַל מעמבראַנע אָדער אַ סעלעקטיוו אַדסאָרפּטיאָן / דעסאָרפּטיאָן מעקאַניזאַם. פֿאַר בייַשפּיל, אַ פּאַללאַדיום מעמבראַנע קענען זיין געניצט צו סאַלעקטיוולי באַזייַטיקן הידראָגען פון אַ גאַז געמיש, אַלאַוינג אנדערע ימפּיוראַטיז אין גאַסאַז צו זיין קאָנצענטרירט און דורכגעגאנגען צו אַ דעטעקטאָר. סימילאַרלי, ספּעציפיש אַדסאָרבענט מאַטעריאַלס קענען טראַפּ זיכער ימפּיוראַטיז פון אַ פלאָוינג גאַז טייַך, וואָס קענען דעריבער זיין טערמאַלי דעסאָרבעד אין אַ קלענערער באַנד פון אַ ריין טרעגער גאַז פֿאַר אַנאַליסיס. דורך רידוסינג די סומע פון ​​פאַרנעם גאַז דערגרייכן די דעטעקטאָר, די דעוויסעס מינאַמייז מאַטריץ ינטערפערענסעס, נידעריקער דער הינטערגרונט ראַש און יפעקטיוולי פאַרגרעסערן די סיגנאַל-צו-ראַש פאַרהעלטעניש פֿאַר די ציל שפּור ימפּיוראַטיז. דעם קענען פירן צו אַ נידעריקער שיעור פון דיטעקשאַן.

די בענעפיץ פון ניצן אַ גאַז וועקסל מיטל זענען ספּעציעל קענטיק ווען אַנאַלייזינג ימפּיוראַטיז אין עלעקטראָניש גאַסאַז וואָס זענען שווער צו שעפּן גלייַך אָדער וואָס גרונט באַטייטיק ינטערפיראַנס אין אַנאַליסיס ינסטראַמאַנץ. פֿאַר בייַשפּיל, ווען טריינג צו מעסטן שפּור זויערשטאָף אָדער נעץ אין אַ העכסט ריאַקטיוו ספּעציאַליטעט גאַז, א גאַז וועקסל מיטל קען פּאַטענטשאַלי באַזונדער די ימפּיוראַטיז אין אַ מער גוט טרעגער גאַז ווי אַרגאָן אָדער העליום איידער זיי דערגרייכן די דעטעקטאָר. דעם ניט בלויז ימפּרוווז אַקיעראַסי אָבער קענען אויך באַשיצן שפּירעוודיק אַנאַליסיס קאַמפּאָונאַנץ. ווי אַ פאַבריקאַנט פון 99.999% ריינקייַט 50 ל צילינדער קסענאָן גאַז, מיר פֿאַרשטיין די ווערט פון אַזאַ אַוואַנסירטע טעקניקס אין וועראַפייינג די יקסעפּשאַנאַל ריינקייַט פון זעלטן און ספּעציעל גאַסאַז. דעם טעכנאָלאָגיע אַידס אין די קריטיש גאַז רייניקונג און וועראַפאַקיישאַן סטאַגעס.

די קריטיש לינק: טומע אַנאַליסיס אין גאַסאַז געניצט גלייַך אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע.

די גאַסאַז געניצט גלייַך אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוצירן זענען די לעבנסבלאַד פון די פאַבריקיישאַן פּראָצעס. די אַרייַננעמען ניט נאָר פאַרנעם גאַסאַז ווי ניטראָגען און אַרגאָןאָבער אויך אַ ברייט קייט פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז אַזאַ ווי עפּיטאַקסיאַל גאַסאַז (למשל, סילאַן, גערמאַני פֿאַר גראָוינג קריסטאַל לייַערס), עטינג גאַסאַז (למשל, NF₃, SF₆, Cl₂ פֿאַר מוסטערונג), יאָן ימפּלאַנטיישאַן גאַסאַז (למשל, אַרסינע, פאָספינע, באָראָן טריפלאָרידע פֿאַר דאָפּינג), און דעפּאַזישאַן גאַסאַז. פֿאַר יעדער פון זיי גאַסאַז פארלאנגט, די מדרגה און טיפּ פון פּאַסיק טומאה זענען סטרינדזשאַנטלי דיפיינד ווייַל קיין דיווייישאַן קענען גלייַך איבערזעצן אין חסרונות אויף די סעמיקאַנדאַקטער ווייפער. דאס מאכט טומאה אַנאַליסיס פֿאַר די פּראָצעס גאַסאַז אַן לעגאַמרע קריטיש קוואַליטעט קאָנטראָל שריט.

באַטראַכטן די דעפּאַזישאַן פון אַ דין סיליציום דייאַקסייד שיכטע, אַ פּראָסט ינסאַלייטער אין טראַנזיסטערז. אויב די זויערשטאָף גאַז איז געניצט פֿאַר דעם פּראָצעס כּולל כיידראָוקאַרבאַן ימפּיוראַטיז, טשאַד קענען זיין ינקאָרפּערייטיד אין די אַקסייד שיכטע, דיגריידינג זייַן ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס און פּאַטענטשאַלי פירן צו מיטל דורכפאַל. סימילאַרלי, אויב אַ עטשינג גאַז כּולל אַן אומגעריכט טומאה, עס קען טוישן די עטק קורס אָדער סעלעקטיוויטי, וואָס פירן צו פֿעיִקייטן וואָס זענען צו גרויס, צו קליין אָדער פאַלש שייפּט. אפילו אן טומאה אין אַן ינערט גאַז ווי אַרגאָן גאַז צילינדער געניצט פֿאַר ספּאַטערינג קענען זיין טראַנספערד אַנטו די ווייפער ייבערפלאַך, אַפעקטינג פילם קוואַליטעט. די ווירקונג פון אַ טומאה איז אָפט פּראָצעס-ספּעציפיש, טייַטש אַן טומאה טאָלעראַטעד אין איין שריט קען זיין אַ קריטיש קאַנטאַמאַנאַנט אין אן אנדער.

דעם קריטיש לינק דאַרף אַ פולשטענדיק צוגאַנג צו טומאה אַנאַליסיס. עס איז נישט בלויז צו קאָנטראָלירן די לעצט פּראָדוקט; עס ינוואַלווז מאָניטאָרינג רוי מאַטעריאַלס, אין-פּראָסעס סטרימז און לעצט גאַז רייניקונג סטאַגעס. פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער ספּעציאַליטעט גאַסאַז, די ספּעסאַפאַקיישאַנז פֿאַר ימפּיוראַטיז אין סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז זענען אָפט גאָר ענג, פּושינג די באַונדריז פון אַנאַליסיס דיטעקשאַן. מיר אַרבעטן ענג מיט אונדזער קאַסטאַמערז אין די סעמיקאַנדאַקטער און עלעקטראָניק פעלד צו פֿאַרשטיין זייער ספּעציפיש טומאה סענסיטיוויטי פֿאַר פאַרשידענע גאַסאַז און גאַז מיקסטשערז. דעם קאַלאַבערייטיוו צוגאַנג העלפּס צו ענשור אַז די ריינקייַט ספּעציאַליטעט גאַסאַז מיר צושטעלן קאַנסיסטאַנטלי טרעפן די פאדערן רעקווירעמענץ פון זייער אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. די אַרויסרופן ליגט אין דיטעקטינג אַ ברייט קייט פון ימפּיוראַטיז אין אלץ-דיקריסינג לעוועלס.

ווייַטער פון די לאַב: בעסטער פּראַקטיסיז פֿאַר האַנדלינג הויך-ריין סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן.

ינשורינג די ריינקייַט פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז טוט נישט סוף ווען די גאַז בלעטער אונדזער פּראָדוקציע מעכירעס. האַלטן אַז ריינקייַט אַלע די וועג צו די פונט פון נוצן אין אַ סעמיקאַנדאַקטער פאַב ריקווייערז מאַטיקיאַלאַס ופמערקזאַמקייט צו האַנדלינג, סטאָרידזש און פאַרשפּרייטונג. אפילו די העכסטן ריינקייַט גאַז קענען ווערן קאַנטאַמאַנייטאַד אויב ניט געראטן ריכטיק. אין Huazhong Gas, מיר ניט בלויז פאָקוס אויף פּראָדוצירן הויך-ריינקייַט גאַסאַז אָבער אויך רעקאָמענדירן אונדזער קלייאַנץ אויף בעסטער פּראַקטיסיז צו פאַרמייַדן דאַונסטרים קאַנטאַמאַניישאַן.

די בעסטער פּראַקטיסיז אַרייַננעמען:

• קאָמפּאָנענט סעלעקציע: אַלע קאַמפּאָונאַנץ אין די גאַז עקספּרעס סיסטעם - אַרייַנגערעכנט גאַז סילינדערס, רעגיאַלייטערז, וואַלווז, טובינג און פיטינגז - מוזן זיין געמאכט פון צונעמען מאַטעריאַלס (למשל, עלעקטראָפּאָלישט ומבאַפלעקט שטאָל) און זיין ספּאַסיפיקלי קלינד און סערטאַפייד פֿאַר הינטער-הויך ריינקייַט (UHP) דינסט. ניצן פאַלש מאַטעריאַלס קענען פירן צו אַוטגאַססינג פון ימפּיוראַטיז אָדער אַ מעטאַלליק טומאה ליטשינג אין די גאַז לויפן.
• סיסטעם אָרנטלעכקייַט: די גאַז עקספּרעס סיסטעם מוזן זיין רינען-ענג. אפילו קליינטשיק ליקס קענען לאָזן אַטמאַספעריק קאַנטאַמאַנאַנץ ווי זויערשטאָף, נעץ, און פּאַרטיקיאַלער ענין צו אַרייַן די סיסטעם, קאַמפּראַמייזינג גאַז ריינקייַט. רעגולער רינען קאָנטראָלירונג איז יקערדיק.
• רייניקונג פּראָוסידזשערז: געהעריק רייניקונג פּראָוסידזשערז זענען קריטיש יעדער מאָל אַ קשר איז געמאכט אָדער אַ צילינדער איז געביטן. דעם ינוואַלווז פלאַשינג די שורות מיט אַ הויך ריינקייַט ינערט גאַז (ווי אַרגאָן אָדער ניטראָגען) צו באַזייַטיקן קיין טראַפּט לופט אָדער ימפּיוראַטיז. ניט גענוגיק רייניקונג איז אַ פּראָסט מקור פון קאַנטאַמאַניישאַן. מיר אָפט רעקאָמענדירן אָטאַמייטיד רייניקונג פּאַנאַלז צו ענשור קאָנסיסטענסי.
• ספּעציעלע ויסריכט: ניצן דעדאַקייטאַד רעגיאַלייטערז און שורות פֿאַר ספּעציפיש גאַסאַז אָדער משפחות פון גאַסאַז קענען פאַרמייַדן קרייַז-קאַנטאַמאַניישאַן. דאָס איז ספּעציעל וויכטיק ווען באַשטימען צווישן אַן ינערט גאַז און אַ ריאַקטיוו אָדער קעראָוסיוו גאַז.
• צילינדער באַהאַנדלונג: גאַז סילינדערס זאָל זיין כאַנדאַלד מיט זאָרג צו ויסמייַדן שעדיקן. זיי זאָל זיין סטאָרד אין דעזיגנייטיד, געזונט-ווענטאַלייטיד געביטן, און "ערשטער-אין, ערשטער-אויס" ינוואַנטאָרי פאַרוואַלטונג זאָל זיין פּראַקטיסט. ניצן דעדאַקייטאַד נעץ און זויערשטאָף אַנאַליזערס אין קריטיש פונקטן קענען אויך העלפֿן מאָניטאָר פֿאַר קיין ינגרעסס פון די פּראָסט ימפּיוראַטיז.

פֿאַר קאַסטאַמערז ווי Mark Shen, וואָס קויפן גאַז פֿאַר ריסייל אָדער פֿאַר נוצן אין מאַנופאַקטורינג, עס איז וויכטיק צו פֿאַרשטיין די האַנדלינג פּראַקטיסיז. פּראָדוקט קוואַליטעט זיי צוזאָג צו זייער אייגן קלייאַנץ. עס איז אַ שערד פֿאַראַנטוואָרטלעכקייט. מיר פאַרזיכערן אונדזער הידראָגען צילינדער פּראָדוקטן, פֿאַר בייַשפּיל, זענען אָנגעפילט און מיינטיינד צו פאַרמייַדן טומאה ינגרעסס, אָבער דער סוף-באַניצער ס סיסטעם פיעסעס אַן גלייַך וויכטיק ראָלע. דער קאַמף קעגן טומאה איז אַ קעסיידערדיק מי פון פּראָדוקציע צו אַפּלאַקיישאַן.

קוק אין די קריסטאַל באַלל: וואָס צוקונפֿט ינאָווויישאַנז קענען מיר דערוואַרטן אין טומע דעטעקשאַן פֿאַר עלעקטראָניש גראַד גאַסאַז?

די זוכן פֿאַר אלץ-העכער ריינקייַט אין עלעקטראָניש מיינונג גאַסאַז און מער שפּירעוודיק טומאה דיטעקשאַן מעטהאָדס איז אַ קעסיידערדיק נסיעה, געטריבן דורך די רילענטלאַס גאַנג פון כידעש אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. ווי מיטל פֿעיִקייטן ייַנשרומפּן ווייַטער אין די סוב-10 נאַנאָמעטער מעלוכע און נייַ מאַטעריאַלס און אַרקאַטעקטשערז אַרויסקומען (ווי 3D NAND און Gate-All-Around טראַנזיסטערז), די פּראַל פון אפילו שוואַך שפּור ימפּיוראַטיז וועט ווערן מער פּראַנאַונסט. דאָס וועט דאַרפן ווייַטער אַדוואַנטידזשיז אין ביידע גאַז רייניקונג טעקנאַלאַדזשיז און טומאה אַנאַליסיס קייפּאַבילאַטיז.

מיר קענען פאָרויסזאָגן עטלעכע טרענדס:

• נידעריקער דעטעקשאַן לימאַץ: אַנאַליטיקאַל טעקניקס ווי ICP-MS, גאַז טשראָמאַטאָגראַפי-מאַסע ספּעקטראָמעטרי (GC-MS), און קאַוואַטי רינג-אַראָפּ ספּעקטראָסקאָפּי (CRDS) וועט פאָרזעצן צו יוואַלוו, פּושינג דיטעקשאַן לימאַץ פֿאַר אַ ברייטערער קייט פון ימפּיוראַטיז אַראָפּ צו איין-ציפֿער פּפּט לעוועלס אָדער אפילו אין די ppq פעלד. דאָס וועט דאַרפן ינאָווויישאַנז אין יאָן קוואלן, מאַסע אַנאַליזערז און דעטעקטאָר טעכנאָלאָגיע.
• מאָניטאָרינג אין-סיטו און פאַקטיש צייט: עס איז אַ גראָוינג פאָדערונג פֿאַר אַנאַליסיס סיסטעמען וואָס קענען מאָניטאָר גאַז ריינקייַט אין פאַקטיש-צייט, גלייך אין די פונט פון נוצן אין די סעמיקאַנדאַקטער fab. דעם אַלאַוז פֿאַר באַלדיק דיטעקשאַן פון קיין קאַנטאַמאַניישאַן געשעענישן אָדער דריפץ אין טומאה לעוועלס, ענייבאַלינג פאַסטער קערעקטיוו קאַמף און מינאַמייזינג פּראָדוקט אָנווער. מיניאַטוריזעד סענסאָרס און אַוואַנסירטע כעמישער אַלגערידאַמז וועט שפּילן אַ שליסל ראָלע דאָ.
• אַנאַליסיס פון קאָמפּלעקס גאַז מיקסטשערז: צוקונפֿט סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז קען אַרייַנציען מער קאָמפּליצירט גאַז מיקסטשערז מיט קייפל ריאַקטיוו קאַמפּאָונאַנץ. אַנאַלייזינג ימפּיוראַטיז אין אַזאַ טשאַלאַנדזשינג מאַטריץ וועט דאַרפן נייַע אַנאַליטיקאַל סטראַטעגיעס און סאַפיסטאַקייטיד דאַטן ינטערפּריטיישאַן מכשירים. די פיייקייַט צו מעסטן אַ טומאה אין איין קאָמפּאָנענט אָן ינטערפיראַנס פון אנדערע וועט זיין קריטיש.
• פאָקוס אויף "קילער" ימפּיוראַטיז: פאָרשונג וועט פאָרזעצן צו ידענטיפיצירן ספּעציפיש ימפּיוראַטיז אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג וואָס האָבן אַ דיספּראַפּאָרשאַנאַטלי גרויס פּראַל אויף מיטל פאָרשטעלונג אָדער טראָגן, אפילו אין גאָר נידעריק לעוועלס. אַנאַליטיש מעטהאָדס וועט ווערן מער טאַרגעטעד צו די "רעצייעך" ימפּיוראַטיז.
• דאַטאַ אַנאַליטיקס און אַי: די וואַסט אַמאַונץ פון דאַטן דזשענערייטאַד דורך אַוואַנסירטע טומאה אַנאַליסיס סיסטעמען וועט זיין לעווערידזשד מיט אַי און מאַשין לערנען צו ידענטיפיצירן טרענדס, פאָרויסזאָגן פּאָטענציעל קאַנטאַמאַניישאַן ישוז, און אַפּטאַמייז גאַז רייניקונג פּראַסעסאַז. דאָס קען העלפֿן אין פּראָואַקטיוו קוואַליטעט קאָנטראָל אלא ווי ריאַקטיוו פּראָבלעם סאַלווינג.

אין Huazhong Gas, מיר זענען קאַמיטאַד צו בלייבן אין די פראָנט פון די דיוועלאַפּמאַנץ. מיר קאַנטיניואַסלי ינוועסטירן אין פאָרשונג און אַנטוויקלונג, מיטאַרבעט מיט ינדאַסטרי פּאַרטנערס און אַקאַדעמיק אינסטיטוציעס צו העכערן די וויסנשאַפֿט פון הויך ריינקייַט גאַז פּראָדוקציע און טומאה אַנאַליסיס. פֿאַר אונדזער קאַסטאַמערז, אַרייַנגערעכנט די ווי קוואַליטעט-באַוווסטזיניק ווי Mark Shen, דאָס מיטל אַ פאַרלאָזלעך צושטעלן פון עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז וואָס טרעפן די יוואַלווינג באדערפענישן פון די עלעקטראָניק און סעמיקאַנדאַקטער ינדאַסטריז. אונדזער קייט פון העליום, באַוווסט פֿאַר זייַן ינערטנאַס און נוצן אין ספּעשאַלייזד אַפּלאַקיישאַנז, אויך בענעפיץ פון די אַוואַנסירטע אַנאַליטיקאַל דורכקוק צו ענשור מינימאַל טומאה לעוועלס.

שליסל טייקווייז צו געדענקען:

• עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז זענען פונדאַמענטאַל צו סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, און זייער ריינקייַט איז ניט-פאַרקויפלעך.
• אפילו שפּור ימפּיוראַטיז, געמאסטן אין ppb אָדער ppt, קענען אָנמאַכן באַטייַטיק חסרונות און טראָגן אָנווער אין סעמיקאַנדאַקטער מכשירים.
• פּראָסט ימפּיוראַטיז אין גאַסאַז אַרייַננעמען אנדערע גאַסאַז (ווי אָ₂, ה₂ אָ), מעטאַלליק ימפּיוראַטיז, און פּאַרטיקיאַלער ענין.
• ICP-MS איז אַ קאָרנערסטאָון טעכנאָלאָגיע פֿאַר דיטעקטינג אַ ברייט קייט פון ימפּיוראַטיז, ספּעציעל מעטאַלליק ימפּיוראַטיז, אין הינטער-נידעריק לעוועלס.
• מיינטיינינג גאַז ריינקייַט ריקווייערז מאַטיקיאַלאַס האַנדלינג און סיסטעם אָרנטלעכקייַט פון די גאַז צילינדער צו די פונט פון נוצן צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן.
• די צוקונפֿט וועט זען אַפֿילו נידעריקער דיטעקשאַן לימאַץ, פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג און אַי-געטריבן טומאה אַנאַליסיס פֿאַר עלעקטראָניש מיינונג גאַסאַז.
• קאַנטראָולינג יעדער פּאָטענציעל טומאה איז וויטאַל פֿאַר ינשורינג די פּראָדוקט קוואַליטעט און רילייאַבילאַטי פון מאָדערן עלעקטראָניק.