ٹنگسٹن فلورائیڈ گیس پیوریفیکیشن ٹیکنالوجی سے گزرتی ہے، بشمول رییکٹیفیکیشن سیپریشن ٹیکنالوجی، کم ابلتے مادوں کو ہٹانے، پھر زیادہ ابلتے مادوں کو ہٹانے، اور پھر جذب کرنے والے ٹاور میں داخل ہوتی ہے، اور جذب کے بعد اعلیٰ طہارت والی ٹنگسٹن ہیکسا فلورائیڈ گیس حاصل کرتی ہے۔