Панельна промисловість

З розвитком технології плоскопанельних дисплеїв клієнтам потрібно більше спеціальних газів і відповідних професійних знань і досвіду. Huazhong Gas надає клієнтам плоских дисплеїв широкий спектр спеціальних газових матеріалів, включаючи легування, осадження плівок, процеси травлення та очищення камер.

Рекомендовані продукти для вашої галузі

Силан

Силан для електроніки в основному використовується у виробництві TFT (тонкоплівкових транзисторів)/LCD (рідкокристалічних дисплеїв) у промисловості панелей дисплеїв, а також для осадження підкладок TFT або LTPS для LCD.

Аміак

У поєднанні з силаном він утворює шар нітриду кремнію транзисторів a-Si.

Газова суміш

Виробництво транзисторів LTPS і MOS збільшило використання закису азоту. З точки зору споживання та використання у виробництві МО, N2O перевершив NF3 і став найбільш використовуваним електронним матеріалом у виробництві МО.

трифтористий азот

NF3 є найбільш часто використовуваним електронним матеріалом у виробництві дисплеїв a-Si та LTPS і в основному використовується для очищення камер PECVD.