Yarı İletken Endüstrisi

Entegre devre/yarı iletken müşterilerimize difüzyon, litografi, biriktirme, dağlama, doping, temizleme gibi işlemler için gerekli olan çeşitli özel gazları sağlıyoruz.

Sektörünüz için önerilen ürünler

Azot triflorür

Aşındırma endüstriyel prosesinde elektron gazı ile kazınacak nesne arasındaki kimyasal reaksiyon gereklidir. Plaka imalatının aşındırma işleminde, yönlü aşındırma amacına ulaşmak için aşındırılan parçayı çıkarmak için elektrona özgü bir gazın kullanılması gerekir.

Silan

Yarı iletken endüstrisinde silan esas olarak yüksek saflıkta polisilikon, silikon dioksit film, silikon nitrür film, polisilikon izolasyon katmanı vb. üretiminde kullanılır ve ayrıca güneş pilleri, optik fiberler ve fotoelektrik sensörler vb. üretiminde de kullanılabilir.

Gaz karışımı

Bir elektron gazı olarak nitro oksit esas olarak yarı iletken optoelektronik cihazların geliştirilmesi ve üretimi için dielektrik ince film prosesinde kullanılır. Optoelektronik cihazların kalitesini doğrudan etkileyen vazgeçilmez bir anahtar kavram gazıdır.