(1) Magnezyum silisit yöntemi: silan elde etmek için karışık silikon ve magnezyum tozunu hidrojen içinde yaklaşık 500°C'de reaksiyona sokun ve üretilen magnezyum silisidi düşük sıcaklıkta sıvı amonyak içinde amonyum klorürle reaksiyona sokun. Sıvı nitrojenle soğutulan bir damıtma aparatında saflaştırılması saf silan verir.
(2) Heterojen reaksiyon yöntemi: triklorosilan elde etmek için silikon tozu, silikon tetraklorür ve hidrojeni, 500°C'nin üzerinde ısıtılan akışkan yataklı bir fırında reaksiyona sokun. Triklorosilan damıtma yoluyla ayrılır. Diklorosilan, bir katalizör varlığında heterojen reaksiyonla elde edilir. Elde edilen diklorosilan, silikon tetraklorür ve triklorosilan ile bir karışım olduğundan, damıtma sonrasında saf diklorosilan elde edilebilir. Triklorosilan ve monosilan, heterojen bir reaksiyon katalizörü kullanılarak diklorosilandan elde edilir. Elde edilen monosilan, düşük sıcaklıkta, yüksek basınçlı bir damıtma cihazıyla saflaştırılır.
(3) Silikon-magnezyum alaşımına hidroklorik asit uygulayın.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Silikon-magnezyum alaşımı, sıvı amonyak içindeki amonyum bromür ile reaksiyona girer.
(5) İndirgeyici maddeler olarak lityum alüminyum hidrit, lityum borohidrit vb. kullanarak eter içindeki tetraklorosilanı veya triklorosilanı azaltın.