டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடுசுமார் 13 கிராம்/லி அடர்த்தி கொண்ட நிறமற்ற, நச்சு மற்றும் அரிக்கும் வாயு ஆகும், இது காற்றின் அடர்த்தியை விட 11 மடங்கு மற்றும் அடர்த்தியான வாயுக்களில் ஒன்றாகும். குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையில், டங்ஸ்டன் உலோகத்தை டெபாசிட் செய்ய இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையில் டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. டெபாசிட் செய்யப்பட்ட டங்ஸ்டன் ஃபிலிம், துளைகள் மற்றும் தொடர்பு துளைகள் வழியாக ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் கோடாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் குறைந்த எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக உருகுநிலையின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு இரசாயன பொறித்தல், பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.