Vad används volframhexafluorid till?
Vad används volframhexafluorid till?
Volframhexafluoridär en färglös, giftig och frätande gas med en densitet på cirka 13 g/L, vilket är cirka 11 gånger luftens densitet och en av de tätaste gaserna. Inom halvledarindustrin används volframhexafluorid huvudsakligen i den kemiska ångavsättningsprocessen (CVD) för att avsätta volframmetall. Den avsatta volframfilmen kan användas som sammankopplingslinje för genomgående hål och kontakthål och har egenskaperna låg resistans och hög smältpunkt. Volframhexafluorid används också i kemisk etsning, plasmaetsning och andra processer.
Vilken är den tätaste giftfria gasen?
Den tätaste giftfria gasen är argon (Ar) med en densitet på 1,7845 g/L. Argon är en inert gas, färglös och luktfri, och reagerar inte lätt med andra ämnen. Argongas används främst inom gasskydd, metallsvetsning, metallskärning, laser och andra områden.
Är volfram starkare än titan?
Volfram och titan är båda metalliska grundämnen med höga smältpunkter och styrka. Smältpunkten för volfram är 3422°C och styrkan är 500 MPa, medan smältpunkten för titan är 1668°C och styrkan är 434 MPa. Därför är volfram starkare än titan.
Hur giftigt är volframhexafluorid?
Volframhexafluoridär en mycket giftig gas som kan orsaka allvarliga skador på människokroppen om den andas in. LD50 för volframhexafluorid är 5,6 mg/kg, det vill säga inandning av 5,6 mg volframhexafluorid per kilogram kroppsvikt kommer att resultera i en dödlighet på 50 %. Volframhexafluorid kan irritera luftvägarna och orsaka symtom som hosta, tryck över bröstet och dyspné. Allvarliga fall kan leda till lungödem, andningssvikt och till och med dödsfall.
Kommer volfram att rosta?
Volfram rostar inte. Volfram är en inert metall som inte reagerar lätt med syre i luften. Därför kommer volfram inte att rosta vid normal temperatur.
Kan syra korrodera volfram?
Syror kan korrodera volfram, men i långsammare takt. Starka syror som koncentrerad svavelsyra och koncentrerad saltsyra kan fräta på volfram, men det tar lång tid. Svaga syror som utspädd svavelsyra och utspädd saltsyra har en svag korrosionseffekt på volfram.
Ammoniakapplikation i halvledarindustrin
