Halvledarindustrin

Vi förser kunder med integrerade kretsar/halvledare med olika specialgaser som krävs för processer som diffusion, litografi, deponering, etsning, dopning och rengöring.

Rekommenderade produkter för din bransch

Kvävetrifluorid

Den kemiska reaktionen mellan elektrongasen och föremålet som ska etsas krävs i den industriella etsningsprocessen. I etsningsprocessen vid wafertillverkning är det nödvändigt att använda en elektronspecifik gas för att avlägsna den etsade delen för att uppnå syftet med riktad etsning.

Silan

Inom halvledarindustrin används silan främst för att tillverka högrent polykisel, kiseldioxidfilm, kiselnitridfilm, polykiselisoleringsskikt etc., och kan även användas för att tillverka solceller, optiska fibrer och fotoelektriska sensorer etc.

Gasblandning

Som elektrongas används dikväveoxid huvudsakligen i den dielektriska tunnfilmsprocessen för utveckling och produktion av optoelektroniska halvledarenheter. Det är en oersättlig nyckelkonceptgas som direkt påverkar kvaliteten på optoelektroniska enheter.