Panelindustrin

Med utvecklingen av plattskärmsteknik behöver kunderna mer speciella gaser och relaterad professionell kunskap och erfarenhet. Huazhong Gas förser kunder med plattskärmar med en mängd olika specialgasmaterial, inklusive dopning, filmavsättning, etsning och kammarrengöringsprocesser.

Rekommenderade produkter för din bransch

Silan

Silangas av elektronisk kvalitet används huvudsakligen vid produktion av TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) inom bildskärmsindustrin, och avsättning av TFT- eller LTPS-substrat för LCD-skärmar.

Ammoniak

I kombination med silan bildar det kiselnitridskiktet av a-Si-transistorer.

Gasblandning

Tillverkningen av LTPS- och MOS-transistorer har ökat användningen av dikväveoxid. Ur konsumtion och användning i MO-produktion har N2O överträffat NF3 för att bli det mest använda elektroniska materialet i MO-produktion.

kvävetrifluorid

NF3 är det vanligaste elektroniska materialet i a-Si- och LTPS-displayproduktion och används främst för rengöring av PECVD-kammare.