Hur tillverkas silaner?
(1) Magnesiumsilicidmetod: reagera det blandade pulvret av kisel och magnesium i väte vid cirka 500°C och reagera den genererade magnesiumsiliciden med ammoniumklorid i flytande ammoniak vid låg temperatur för att erhålla silan. Rening av det i en destillationsapparat kyld med flytande kväve ger ren silan.
(2) Heterogen reaktionsmetod: reagera kiselpulver, kiseltetraklorid och väte i en virvelbäddsugn uppvärmd över 500°C för att erhålla triklorsilan. Triklorsilan separeras genom destillation. Diklorsilan erhålls genom heterogen reaktion i närvaro av en katalysator. Den erhållna diklorsilanen är en blandning med kiseltetraklorid och triklorsilan, så ren diklorsilan kan erhållas efter destillation. Triklorsilan och monosilan erhålls från diklorsilan med användning av en heterogen reaktionskatalysator. Den erhållna monosilanen renas med en lågtemperatur högtrycksdestillationsanordning.
(3) Behandla kisel-magnesiumlegeringen med saltsyra.
Mg2Si+4HCl—→2MgCl2+SiH4
(4) Kisel-magnesiumlegering reagerar med ammoniumbromid i flytande ammoniak.
(5) Användning av litiumaluminiumhydrid, litiumborhydrid, etc. som reduktionsmedel, reducera tetraklorsilan eller triklorsilan i eter.
2. Vilket är utgångsmaterialet för silan?
Råvarorna för beredning avsilanär främst kiselpulver och väte. Renhetskraven för kiselpulver är relativt höga och når i allmänhet mer än 99,999%. Väte raffineras också för att säkerställa den höga renheten hos den beredda silanen.
3. Vilken funktion har silan?
Som en gaskälla som tillhandahåller kiselkomponenter kan silan användas för att tillverka högrent polykristallint kisel, enkristallint kisel, mikrokristallint kisel, amorft kisel, kiselnitrid, kiseloxid, heterogent kisel och olika metallsilicider. På grund av sin höga renhet och fina kontroll har den blivit en viktig specialgas som inte kan ersättas av många andra kiselkällor. Silan används i stor utsträckning inom mikroelektronik- och optoelektronikindustrin och används vid tillverkning av solceller, platta bildskärmar, glas- och stålbeläggningar, och är den enda mellanprodukten i världen för storskalig produktion av granulärt kisel med hög renhet. De högteknologiska tillämpningarna av silan växer fortfarande fram, inklusive användningen vid tillverkning av avancerad keramik, kompositmaterial, funktionella material, biomaterial, högenergimaterial, etc., och blir grunden för många nya teknologier, nya material och nya enheter.
4. Är silaner miljövänliga?
Ja, silanbehandlingsmedlet innehåller inte tungmetalljoner och andra föroreningar, och det uppfyller ROHS och SGS miljöskyddsstandarder.
5. Applicering av silan
Skelettstruktur av klorsilaner och alkylklorsilaner, epitaxiell tillväxt av kisel, råmaterial av polykisel, kiseloxid, kiselnitrid, etc., solceller, optiska fibrer, färgat glastillverkning, kemisk ångavsättning.
Ammoniakapplikation i halvledarindustrin
