Гас волфрам флуорида се подвргава технологији пречишћавања, укључујући технологију одвајања ректификације, како би се уклониле супстанце ниског кључања, затим уклониле супстанце са високим кључањем, а затим ушао у адсорпциону кулу опремљену адсорбентима и добио гас волфрам хексафлуорида високе чистоће након адсорпције.