Za kaj se uporablja volframov heksafluorid?
Za kaj se uporablja volframov heksafluorid?
Volframov heksafluoridje brezbarven, strupen in jedek plin z gostoto okoli 13 g/L, kar je približno 11-kratna gostota zraka in eden najgostejših plinov. V industriji polprevodnikov se volframov heksafluorid uporablja predvsem v postopku kemičnega naparjevanja (CVD) za nanašanje kovine volframa. Odloženi volframov film se lahko uporablja kot povezovalna linija skoznjih in kontaktnih lukenj ter ima nizko odpornost in visoko tališče. Volframov heksafluorid se uporablja tudi pri kemičnem jedkanju, plazemskem jedkanju in drugih postopkih.
Kateri je najgostejši nestrupen plin?
Najgostejši nestrupen plin je argon (Ar) z gostoto 1,7845 g/L. Argon je inerten plin, brez barve in vonja ter ne reagira zlahka z drugimi snovmi. Plin argon se uporablja predvsem pri zaščiti plinov, varjenju kovin, rezanju kovin, laserju in drugih področjih.
Ali je volfram močnejši od titana?
Volfram in titan sta oba kovinska elementa z visokimi tališči in trdnostjo. Tališče volframa je 3422 °C in trdnost 500 MPa, medtem ko je tališče titana 1668 °C in trdnost 434 MPa. Zato je volfram močnejši od titana.
Kako strupen je volframov heksafluorid?
Volframov heksafluoridje zelo strupen plin, ki lahko pri vdihavanju povzroči resne poškodbe človeškega telesa. LD50 volframovega heksafluorida je 5,6 mg/kg, kar pomeni, da vdihavanje 5,6 mg volframovega heksafluorida na kilogram telesne teže povzroči 50-odstotno smrtnost. Volframov heksafluorid lahko draži dihalne poti in povzroči simptome, kot so kašelj, tiščanje v prsih in dispneja. Hudi primeri lahko povzročijo pljučni edem, odpoved dihanja in celo smrt.
Ali bo volfram zarjavel?
Volfram ne bo rjavel. Volfram je inertna kovina, ki ne reagira zlahka s kisikom v zraku. Zato volfram pri normalni temperaturi ne bo rjavel.
Ali lahko kislina razjeda volfram?
Kisline lahko razjedajo volfram, vendar počasneje. Močne kisline, kot sta koncentrirana žveplova kislina in koncentrirana klorovodikova kislina, lahko razjedajo volfram, vendar traja dolgo časa. Šibke kisline, kot sta razredčena žveplova kislina in razredčena klorovodikova kislina, imajo šibek korozijski učinek na volfram.
Uporaba amoniaka v industriji polprevodnikov
