Polprevodniška industrija

Strankam integriranih vezij/polprevodnikov nudimo različne posebne pline, potrebne za postopke, kot so difuzija, litografija, nanašanje, jedkanje, dopiranje in čiščenje.

Priporočeni izdelki za vašo panogo

Dušikov trifluorid

V industrijskem postopku jedkanja je potrebna kemična reakcija med elektronskim plinom in predmetom, ki ga želite jedkati. V procesu jedkanja pri izdelavi rezin je treba uporabiti plin, specifičen za elektrone, da odstranimo jedkani del, da dosežemo namen usmerjenega jedkanja.

Silan

V industriji polprevodnikov se silan uporablja predvsem za proizvodnjo polisilicija visoke čistosti, filma silicijevega dioksida, filma silicijevega nitrida, izolacijskega sloja polisilicija itd., uporablja pa se lahko tudi za proizvodnjo sončnih celic, optičnih vlaken in fotoelektričnih senzorjev itd.

Mešanica plinov

Kot elektronski plin se dušikov oksid uporablja predvsem v dielektričnem tankoslojnem postopku za razvoj in proizvodnjo polprevodniških optoelektronskih naprav. Je nenadomestljiv ključni koncept plina, ki neposredno vpliva na kakovost optoelektronskih naprav.