Industrija plošč

Z razvojem tehnologije ravnih zaslonov potrebujejo stranke več posebnih plinov in s tem povezano strokovno znanje in izkušnje. Huazhong Gas strankam ploščatih zaslonov ponuja široko paleto posebnih plinskih materialov, vključno z dopiranjem, nanašanjem filma, jedkanjem in postopki čiščenja komor.

Priporočeni izdelki za vašo panogo

Silan

Elektronski plin silan se v glavnem uporablja pri proizvodnji TFT (tankoplastnih tranzistorjev)/LCD (zaslonov s tekočimi kristali) v industriji zaslonskih plošč in nanašanju substratov TFT ali LTPS za LCD-je.

amoniak

V kombinaciji s silanom tvori plast silicijevega nitrida a-Si tranzistorjev.

Mešanica plinov

Proizvodnja tranzistorjev LTPS in MOS je povečala uporabo dušikovega oksida. Z vidika porabe in uporabe v proizvodnji MO je N2O presegel NF3 in postal najbolj uporabljen elektronski material v proizvodnji MO.

dušikov trifluorid

NF3 je najpogosteje uporabljen elektronski material v proizvodnji zaslonov a-Si in LTPS in se uporablja predvsem za čiščenje komor PECVD.