Na čo sa používa hexafluorid volfrámový?

2023-09-04

Na čo sa používa hexafluorid volfrámový?

Hexafluorid volfrámuje bezfarebný, toxický a korozívny plyn s hustotou asi 13 g/l, čo je asi 11-násobok hustoty vzduchu a jeden z najhustejších plynov. V polovodičovom priemysle sa hexafluorid volfrámu používa hlavne v procese chemického nanášania pár (CVD) na nanášanie kovového volfrámu. Nanesený volfrámový film sa môže použiť ako spojovacia línia priechodných otvorov a kontaktných otvorov a má vlastnosti nízkeho odporu a vysokého bodu topenia. Hexafluorid volfrámu sa používa aj pri chemickom leptaní, plazmovom leptaní a iných procesoch.

Aký je najhustejší netoxický plyn?

Najhustejší netoxický plyn je argón (Ar) s hustotou 1,7845 g/l. Argón je inertný plyn, bez farby a zápachu a ťažko reaguje s inými látkami. Argonový plyn sa používa hlavne pri ochrane plynov, zváraní kovov, rezaní kovov, laseroch a iných oblastiach.

Je volfrám silnejší ako titán?

Volfrám a titán sú kovové prvky s vysokým bodom topenia a pevnosťou. Teplota topenia volfrámu je 3422 °C a pevnosť 500 MPa, zatiaľ čo teplota topenia titánu je 1668 °C a pevnosť je 434 MPa. Preto je volfrám silnejší ako titán.

Aký toxický je hexafluorid volfrámu?

Hexafluorid volfrámuje vysoko toxický plyn, ktorý pri vdýchnutí môže spôsobiť vážne poškodenie ľudského tela. LD50 hexafluoridu volfrámového je 5,6 mg/kg, to znamená, že inhalácia 5,6 mg hexafluoridu volfrámového na kilogram telesnej hmotnosti bude mať za následok 50 % úmrtnosť. Hexafluorid volfrámu môže dráždiť dýchacie cesty, čo spôsobuje príznaky ako kašeľ, tlak na hrudníku a dýchavičnosť. Závažné prípady môžu viesť k pľúcnemu edému, zlyhaniu dýchania a dokonca k smrti.

Bude volfrám hrdzavieť?

Volfrám nehrdzavie. Volfrám je inertný kov, ktorý nereaguje ľahko s kyslíkom vo vzduchu. Preto volfrám pri normálnej teplote nehrdzavie.

Môže kyselina korodovať volfrám?

Kyseliny môžu korodovať volfrám, ale pomalšie. Silné kyseliny, ako je koncentrovaná kyselina sírová a koncentrovaná kyselina chlorovodíková, môžu korodovať volfrám, ale trvá to dlho. Slabé kyseliny ako zriedená kyselina sírová a zriedená kyselina chlorovodíková majú slabý korózny účinok na volfrám.

TITULKY