Panelový priemysel

S rozvojom technológie plochých displejov zákazníci potrebujú viac špeciálnych plynov a súvisiace odborné znalosti a skúsenosti. Huazhong Gas poskytuje zákazníkom plochých displejov širokú škálu špeciálnych plynových materiálov, vrátane dopingu, nanášania filmu, leptania a procesov čistenia komôr.

Odporúčané produkty pre váš priemysel

Silane

Silánový plyn elektronickej kvality sa používa hlavne pri výrobe TFT (Thin Film Transistor)/LCD (displej z tekutých kryštálov) v priemysle zobrazovacích panelov a pri ukladaní substrátov TFT alebo LTPS pre LCD.

Amoniak

V kombinácii so silánom tvorí vrstvu nitridu kremíka a-Si tranzistorov.

Zmes plynov

Výroba tranzistorov LTPS a MOS zvýšila použitie oxidu dusného. Z pohľadu spotreby a použitia pri výrobe MO N2O prekonal NF3 a stal sa najpoužívanejším elektronickým materiálom pri výrobe MO.

fluorid dusitý

NF3 je najbežnejšie používaný elektronický materiál pri výrobe a-Si a LTPS displejov a používa sa hlavne na čistenie PECVD komôr.