نائٽروجن ٽرائي فلورائيڊ امونيا جي سڌي فلورينيشن ذريعي تيار ڪئي وئي آهي. اهو پڻ پگھليل امونيم بائيفلوورائڊ جي اليڪٽرولائيزيشن ذريعي حاصل ڪري سگهجي ٿو يا گهٽ درجه حرارت تي برقي ڊسچارج استعمال ڪندي عنصر نائٽروجن ۽ فلورائن جي سڌي ميلاپ ذريعي.
نائٽروجن ٽرائيفلورائڊ مائڪرو اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾ هڪ بهترين پلازما ايچنگ گيس آهي، خاص طور تي سلکان ۽ سلڪون نائٽرائڊ جي اچنگ لاءِ مناسب، اعليٰ قيمتن ۽ چونڊيت سان. نائٽروجن ٽرئفلورائڊ کي اعلي توانائي واري ٻارڻ جي طور تي استعمال ڪري سگهجي ٿو يا اعلي توانائي واري ٻارڻ لاءِ آڪسائيڊنگ ايجنٽ جي طور تي. نائٽروجن ٽرائيفلورائڊ پڻ استعمال ڪري سگھجن ٿا اعلي توانائي ڪيميائي ليزرز ۾ آڪسائيڊنگ ايجنٽ جي طور تي هائڊروجن فلورائيڊ ليزرز لاءِ. ٿلهي فلم جي عملن ۾ سيميڪنڊڪٽر ۽ TFT-LCD جي پيداوار لاءِ، نائيٽروجن ٽرائيفلورائڊ ”صاف ڪرڻ واري ايجنٽ“ جي حيثيت سان ڪم ڪري ٿو، پر هي صفائي ڪندڙ ايجنٽ گئس آهي، مائع نه آهي. نائٽروجن ٽرائي فلورائڊ استعمال ڪري سگھجي ٿو تيار ڪرڻ لاءِ tetrafluorohydrazine ۽ fluorinate fluorocarbon olefin.