Газообразный фторид вольфрама подвергается технологии очистки, включая технологию ректификационного разделения, для удаления низкокипящих веществ, затем удаления высококипящих веществ, а затем поступает в адсорбционную башню, оснащенную адсорбентами, и после адсорбции получает газообразный гексафторид вольфрама высокой чистоты.