Химическая формула трифторида азота — NF₃. Это бесцветный газ без запаха и стабильный при комнатной температуре. Это сильный окислитель. Трифторид азота высокой чистоты обладает превосходной скоростью и селективностью травления, а также является очень хорошим чистящим средством. Huazhong может предоставить вам газообразный трифторид азота высокой чистоты для улучшения вашего полупроводникового процесса.