Панельная промышленность

С развитием технологии плоских дисплеев клиентам требуется больше специальных газов и соответствующие профессиональные знания и опыт. Huazhong Gas предоставляет клиентам плоских дисплеев широкий спектр специальных газовых материалов, включая легирование, осаждение пленки, травление и процессы очистки камеры.

Рекомендуемые продукты для вашей отрасли

Силан

Силановый газ электронного качества в основном используется при производстве TFT (тонкопленочных транзисторов)/LCD (жидкокристаллических дисплеев) в индустрии дисплеев, а также при нанесении подложек TFT или LTPS для ЖК-дисплеев.

Аммиак

В сочетании с силаном он образует слой нитрида кремния a-Si транзисторов.

Газовая смесь

Производство LTPS и МОП-транзисторов привело к увеличению использования закиси азота. С точки зрения потребления и использования при производстве МО, N2O превзошел NF3 и стал наиболее используемым электронным материалом в производстве МО.

трифторид азота

NF3 является наиболее часто используемым электронным материалом в производстве дисплеев a-Si и LTPS и в основном используется для очистки камер PECVD.