O gás fluoreto de tungstênio passa por tecnologia de purificação, incluindo tecnologia de separação de retificação, para remover substâncias de baixo ponto de ebulição, em seguida, remover substâncias de alto ponto de ebulição e, em seguida, entrar na torre de adsorção equipada com adsorventes e obter gás hexafluoreto de tungstênio de alta pureza após a adsorção.