A fórmula química do trifluoreto de nitrogênio é NF₃. É um gás incolor, inodoro e estável à temperatura ambiente. É um forte agente oxidante. O trifluoreto de nitrogênio de alta pureza possui excelente taxa de ataque e seletividade e também é um agente de limpeza muito bom. Huazhong pode fornecer gás trifluoreto de nitrogênio de alta pureza para melhorar seu processo de semicondutores.