Tungstenfluoridgass gjennomgår renseteknologi, inkludert rektifikasjonsseparasjonsteknologi, for å fjerne lavtkokende stoffer, deretter fjerne høytkokende stoffer, og deretter gå inn i adsorpsjonstårnet utstyrt med adsorbenter, og oppnå høyrent wolframheksafluoridgass etter adsorpsjon.