Panelindustri

Med utviklingen av flatskjermteknologi trenger kundene flere spesielle gasser og relatert faglig kunnskap og erfaring. Huazhong Gas forsyner kunder med flatskjermer med et bredt utvalg av spesielle gassmaterialer, inkludert doping, filmavsetning, etsing og kammerrenseprosesser.

Anbefalte produkter for din bransje

Silane

Elektronisk silangass brukes hovedsakelig i produksjon av TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) i skjermpanelindustrien, og avsetning av TFT- eller LTPS-substrater for LCD-er.

Ammoniakk

Kombinert med silan danner det silisiumnitridlaget til a-Si-transistorer.

Gassblanding

Produksjonen av LTPS- og MOS-transistorer har økt bruken av lystgass. Fra forbruks- og bruksperspektivet i MO-produksjon har N2O passert NF3 til å bli det mest brukte elektroniske materialet i MO-produksjon.

nitrogentrifluorid

NF3 er det mest brukte elektroniske materialet i a-Si- og LTPS-skjermproduksjon og brukes hovedsakelig til rengjøring av PECVD-kamre.