Paneelindustrie

Met de ontwikkeling van flatpaneldisplaytechnologie hebben klanten meer speciale gassen en aanverwante professionele kennis en ervaring nodig. Huazhong Gas biedt klanten met platte beeldschermen een breed scala aan speciale gasmaterialen, waaronder doping-, filmafzettings-, ets- en kamerreinigingsprocessen.

Aanbevolen producten voor uw branche

Silaan

Silaangas van elektronische kwaliteit wordt voornamelijk gebruikt bij de productie van TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) in de beeldschermpaneelindustrie, en bij de afzetting van TFT- of LTPS-substraten voor LCD's.

Ammoniak

Gecombineerd met silaan vormt het de siliciumnitridelaag van a-Si-transistoren.

Gasmengsel

Door de productie van LTPS- en MOS-transistors is het gebruik van lachgas toegenomen. Vanuit het perspectief van consumptie en gebruik bij MO-productie heeft N2O NF3 overtroffen en is het het meest gebruikte elektronische materiaal bij MO-productie geworden.

stikstoftrifluoride

NF3 is het meest gebruikte elektronische materiaal bij de productie van a-Si- en LTPS-displays en wordt voornamelijk gebruikt voor het reinigen van PECVD-kamers.