टंगस्टन हेक्साफ्लोराइडलगभग 13 g/L को घनत्व भएको रंगहीन, विषाक्त र संक्षारक ग्यास हो, जुन हावाको घनत्वको लगभग 11 गुणा हो र सबैभन्दा घना ग्यासहरू मध्ये एक हो। अर्धचालक उद्योगमा, टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड मुख्यतया रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियामा टंगस्टन धातु जम्मा गर्न प्रयोग गरिन्छ। जम्मा गरिएको टंगस्टन फिल्म प्वालहरू र सम्पर्क प्वालहरू मार्फत को अन्तरसम्बन्ध लाइनको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, र कम प्रतिरोध र उच्च पग्लने बिन्दुको विशेषताहरू छन्। टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड पनि रासायनिक नक्काशी, प्लाज्मा नक्काशी र अन्य प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ।