टंगस्टन फ्लोराइड ग्यासले शुद्धिकरण पृथकीकरण टेक्नोलोजी सहित, कम उमालेका पदार्थहरू हटाउन, त्यसपछि उच्च उमालेका पदार्थहरू हटाउन, र त्यसपछि शोषकहरूले सुसज्जित सोखन टावरमा प्रवेश गर्न र सोखिसके पछि उच्च-शुद्धता टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड ग्यास प्राप्त गर्न शुद्धिकरण प्रविधिबाट गुज्रिन्छ।