Industri panel

Dengan pembangunan teknologi paparan panel rata, pelanggan memerlukan lebih banyak gas khas dan pengetahuan dan pengalaman profesional yang berkaitan. Huazhong Gas menyediakan pelanggan paparan panel rata dengan pelbagai jenis bahan gas khas, termasuk doping, pemendapan filem, etsa dan proses pembersihan ruang Aplikasi.

Produk yang disyorkan untuk industri anda

Silane

Gas silana gred elektronik digunakan terutamanya dalam pengeluaran TFT (Thin Film Transistor)/LCD (Liquid Crystal Display) dalam industri panel paparan, dan pemendapan substrat TFT atau LTPS untuk LCD.

Ammonia

Digabungkan dengan silane, ia membentuk lapisan silikon nitrida transistor a-Si.

Campuran gas

Penghasilan transistor LTPS dan MOS telah meningkatkan penggunaan nitrus oksida. Dari perspektif penggunaan dan penggunaan dalam pengeluaran MO, N2O telah mengatasi NF3 untuk menjadi bahan elektronik yang paling banyak digunakan dalam pengeluaran MO.

nitrogen trifluorida

NF3 ialah bahan elektronik yang paling biasa digunakan dalam pengeluaran paparan a-Si dan LTPS dan digunakan terutamanya untuk membersihkan ruang PECVD.