टंगस्टन फ्लोराईड वायू शुद्धीकरण तंत्रज्ञानाचा वापर करतो, ज्यामध्ये शुद्धीकरण पृथक्करण तंत्रज्ञानाचा समावेश आहे, कमी उकळणारे पदार्थ काढून टाकणे, नंतर जास्त उकळणारे पदार्थ काढून टाकणे, आणि नंतर शोषकांनी सुसज्ज असलेल्या शोषण टॉवरमध्ये प्रवेश करणे आणि शोषणानंतर उच्च-शुद्धता टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड वायू प्राप्त करणे.