पॅनेल उद्योग

फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले तंत्रज्ञानाच्या विकासासह, ग्राहकांना अधिक विशेष वायू आणि संबंधित व्यावसायिक ज्ञान आणि अनुभव आवश्यक आहे. Huazhong Gas फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले ग्राहकांना विविध प्रकारच्या विशेष गॅस सामग्रीसह प्रदान करते, ज्यामध्ये डोपिंग, फिल्म डिपॉझिशन, एचिंग आणि चेंबर क्लीनिंग प्रक्रियांचा समावेश आहे.

तुमच्या उद्योगासाठी शिफारस केलेली उत्पादने

सिलेन

इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड सिलेन गॅसचा वापर प्रामुख्याने TFT (थिन फिल्म ट्रान्झिस्टर)/LCD (लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले) च्या उत्पादनामध्ये डिस्प्ले पॅनल उद्योगात आणि LCD साठी TFT किंवा LTPS सब्सट्रेट्सच्या डिपॉझिशनमध्ये केला जातो.

अमोनिया

सिलेनसह एकत्रित, ते a-Si ट्रान्झिस्टरचा सिलिकॉन नायट्राइड थर बनवते.

गॅसमिश्रण

LTPS आणि MOS ट्रान्झिस्टरच्या उत्पादनामुळे नायट्रस ऑक्साईडचा वापर वाढला आहे. MO उत्पादनात वापर आणि वापराच्या दृष्टीकोनातून, N2O ने NF3 ला मागे टाकून MO उत्पादनात सर्वाधिक वापरलेली इलेक्ट्रॉनिक सामग्री बनली आहे.

नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड

NF3 हे a-Si आणि LTPS डिस्प्ले उत्पादनामध्ये सर्वात जास्त वापरले जाणारे इलेक्ट्रॉनिक साहित्य आहे आणि मुख्यतः PECVD चेंबर्स साफ करण्यासाठी वापरले जाते.