Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр

Бид нэгдсэн хэлхээ/хагас дамжуулагч хэрэглэгчдэд диффуз, литограф, тунадас, сийлбэр, допинг, цэвэрлэх зэрэг процессуудад шаардлагатай төрөл бүрийн тусгай хийээр хангадаг.

Танай салбарт санал болгож буй бүтээгдэхүүнүүд

Азотын трифторид

Сийлбэр хийх үйлдвэрлэлийн процесст электрон хий болон сийлсэн объектын хоорондох химийн урвал шаардлагатай. Өргөст цаас үйлдвэрлэх сийлбэр хийх явцад чиглүүлэгч сийлбэр хийх зорилгод хүрэхийн тулд сийлсэн хэсгийг арилгахын тулд электрон тусгай хий ашиглах шаардлагатай.

Силан

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд силаныг голчлон өндөр цэвэршилттэй полисиликон, цахиурын давхар ислийн хальс, цахиурын нитридын хальс, полисиликон тусгаарлах давхарга гэх мэт үйлдвэрлэхэд ашигладаг бөгөөд нарны зай, оптик утас, фотоэлектрик мэдрэгч гэх мэтийг үйлдвэрлэхэд ашиглаж болно.

Хийн хольц

Электрон хийн хувьд азотын ислийг голчлон хагас дамжуулагч оптоэлектроник төхөөрөмжийг боловсруулах, үйлдвэрлэхэд диэлектрик нимгэн хальсан процесст ашигладаг. Энэ бол оптоэлектроник төхөөрөмжийн чанарт шууд нөлөөлдөг орлуулшгүй гол концепцийн хий юм.