Хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу савлагааны бусад үзүүлэлтүүдийг өгч болно

азотын трифторид

Энэ нь NF3 химийн томъёотой органик бус нэгдэл юм. Энэ нь хэвийн температур, даралттай үед өнгөгүй хий юм. Энэ нь усанд уусдаггүй. Энэ нь хүчтэй исэлдүүлэгч бөгөөд микроэлектроникийн салбарт маш сайн плазмыг сийлбэрлэдэг хий юм. Мөн өндөр эрчим хүчний түлш болгон ашиглаж болно.

Цэвэр байдал эсвэл тоо хэмжээ	тээвэрлэгч	эзлэхүүн
99.99%	цилиндр	47л

Лавлагаа

Үйлдвэрлэлийн үндсэн процессууд нь химийн арга ба хайлсан давсны электролизийн арга юм. Тэдгээрийн дотроос химийн синтезийн арга нь аюулгүй байдал өндөртэй боловч нарийн төвөгтэй тоног төхөөрөмжийн сул тал, хольцын агууламж өндөртэй; электролизийн аргаар өндөр цэвэршилттэй бүтээгдэхүүнийг олж авахад илүү хялбар боловч тодорхой хэмжээний хог хаягдал, бохирдол байдаг.